導(dǎo)語(yǔ)：如何才能寫好一篇現(xiàn)代光學(xué)測(cè)量技術(shù)，這就需要搜集整理更多的資料和文獻(xiàn)，歡迎閱讀由公務(wù)員之家整理的十篇范文，供你借鑒。

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關(guān)鍵詞：光學(xué)三維測(cè)量；三維激光掃描；面結(jié)構(gòu)光

光學(xué)三維測(cè)量是指運(yùn)用光學(xué)方法獲取物體表面的三維立體坐標(biāo)的技術(shù)。光學(xué)三維測(cè)量利用現(xiàn)代光學(xué)技術(shù)成就，結(jié)合光電子學(xué)、計(jì)算機(jī)圖像處理等學(xué)科成就發(fā)展起來(lái)的一種先進(jìn)測(cè)量技術(shù)。

1 光學(xué)三維測(cè)量的分類

圖1 光學(xué)三維測(cè)量技術(shù)分類圖

光學(xué)三維測(cè)量技術(shù)按測(cè)量原理可以分為攝影測(cè)量方法、結(jié)構(gòu)光技術(shù)和光學(xué)干涉方法。攝影測(cè)量法是基于多視角的非主動(dòng)式測(cè)量方法。在普通照明（陽(yáng)光、日光燈）情況下，由攝像頭獲取多視角物體圖像，利用計(jì)算機(jī)查找多幅圖像的同態(tài)標(biāo)記點(diǎn)，進(jìn)而獲得物體的表面形貌。結(jié)構(gòu)光技術(shù)通過(guò)不同寬度且明暗相間的結(jié)構(gòu)光照射被測(cè)物體表面，獲取到的經(jīng)物體調(diào)制的圖像，再經(jīng)過(guò)計(jì)算獲取物體的立體形貌信息。光學(xué)干涉法是利用干涉原理進(jìn)行測(cè)量，具有高精度、高分辨率等優(yōu)點(diǎn)。以下介紹幾種常見(jiàn)的光學(xué)三維測(cè)量方法。

圖2 三維激光掃描工作原理圖

三維激光掃描技術(shù)根據(jù)光學(xué)三角形測(cè)量原理，以激光作為光源，光電探測(cè)器接收反射光，通過(guò)對(duì)采集到數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算得到物體的深度信息。三維激光掃描儀包括發(fā)射器和接收器。發(fā)射器射出一束脈沖激光，激光經(jīng)過(guò)物體表面漫反射，沿相同路線射入接收器。由脈沖激光發(fā)射到反射被接收的時(shí)間tL可計(jì)算出掃描點(diǎn)到掃描儀的距離值S。掃描儀內(nèi)精密測(cè)量系統(tǒng)獲取每個(gè)激光脈沖的水平方向角α和垂直方向角度β。依據(jù)上述數(shù)據(jù)計(jì)算出掃描點(diǎn)的三維空間坐標(biāo)（XP、YP、ZP）[1]。

雙目視覺(jué)技術(shù)屬于攝影測(cè)量方法，是通過(guò)視差原理被動(dòng)測(cè)量三維數(shù)據(jù)的技術(shù)。雙目視覺(jué)技術(shù)測(cè)量物體三維形貌的原理是，從兩個(gè)或以上的視角去觀察一個(gè)物體，獲得多張不同視角下物體的二維圖片，根據(jù)三角測(cè)量原理得出同一個(gè)像素點(diǎn)的坐標(biāo)偏差，以此獲得測(cè)量物體的三維形態(tài)。此過(guò)程與人眼的立體視覺(jué)原理相類似[2]。

面結(jié)構(gòu)光系統(tǒng)由投影儀和數(shù)碼相機(jī)組成。投影儀將明暗相間光柵條紋投影到待測(cè)物體上。物體高度的變化引起光柵條紋的形變。條紋形變可認(rèn)為是載波信號(hào)相位和振幅被空間物體調(diào)制。數(shù)碼相機(jī)拍攝調(diào)制后的圖像，對(duì)其進(jìn)行解調(diào)制，獲得物體的整個(gè)高度信息值，依照三角法原理，形成物體的三維立體影像[3]。

2 光學(xué)三維測(cè)量的應(yīng)用

光學(xué)三維測(cè)量技術(shù)具有諸多優(yōu)勢(shì)，如非接觸式測(cè)量、高精確度、快速獲得結(jié)果等。光學(xué)三維測(cè)量技術(shù)主要應(yīng)用在虛擬現(xiàn)實(shí)、逆向工程、醫(yī)學(xué)工程等領(lǐng)域。

2.1 虛擬現(xiàn)實(shí)

利用光學(xué)三維測(cè)量技術(shù)對(duì)實(shí)物外形進(jìn)行三維形貌掃描，經(jīng)過(guò)三維建模軟件處理，在計(jì)算機(jī)內(nèi)生成人物、場(chǎng)景的三維模型。由三維模型生成人物動(dòng)作，實(shí)現(xiàn)動(dòng)畫制作，滿足電腦游戲、CG特效等場(chǎng)合需要。

2.2 逆向工程

逆向工程是利用光學(xué)三維測(cè)量設(shè)備獲取物體表面上所有點(diǎn)的三維立體坐標(biāo)，根據(jù)坐標(biāo)點(diǎn)信息利用三維設(shè)計(jì)軟件進(jìn)行實(shí)物模型重建的過(guò)程。逆向工程獲得的模型被用于改進(jìn)、完善原有的產(chǎn)品，被廣泛地應(yīng)用到磨具開(kāi)發(fā)、汽車制造等領(lǐng)域，是現(xiàn)代產(chǎn)品快速開(kāi)發(fā)的重要技術(shù)手段。

2.3 生物、醫(yī)學(xué)工程

運(yùn)用光學(xué)三維測(cè)量技術(shù)獲得人體骨骼、肌肉的數(shù)據(jù)用于人體工程學(xué)研究。例如根據(jù)人體相關(guān)三維數(shù)據(jù)，制作出符合人體生理結(jié)構(gòu)的防護(hù)頭盔、防護(hù)服等。三維光學(xué)測(cè)量技術(shù)還可以測(cè)量傷口的尺寸、分析人的面部結(jié)構(gòu)、設(shè)計(jì)牙齒矯形手術(shù)等。

參考文獻(xiàn)

[1]潘建剛.基于激光掃描數(shù)據(jù)的三維重建關(guān)鍵技術(shù)研究[D].北京：首都師范大學(xué)，2005.

[2]隋婧，金偉其.雙目立體視覺(jué)技術(shù)的實(shí)現(xiàn)及其進(jìn)展[J].電子技術(shù)應(yīng)用，2004，30（10）：4-7.

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關(guān)鍵詞：齒輪測(cè)量 齒輪誤差 測(cè)量技術(shù)

中圖分類號(hào)：TG86 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A 文章編號(hào)：1672-3791（2015）04（c）-0076-01

齒輪測(cè)量技術(shù)的發(fā)展屹今為止已有近百年歷史，一般將其分為以齒廓、齒向與齒距測(cè)量為基礎(chǔ)的分析式測(cè)量，以綜合測(cè)量為基礎(chǔ)的功能式測(cè)量和將單項(xiàng)與綜合集于一體的齒輪整體誤差測(cè)量，隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步，齒輪測(cè)量技術(shù)也有了新的發(fā)展，主要體現(xiàn)在三個(gè)方面，首先是在測(cè)量原理方面實(shí)現(xiàn)了從“比較測(cè)量”到“嚙合運(yùn)動(dòng)測(cè)量”再到“模型化測(cè)量”；再者就是實(shí)現(xiàn)測(cè)量原理的技術(shù)手段在經(jīng)歷了“以機(jī)械為主”到“機(jī)電結(jié)合”的過(guò)程后，發(fā)展為現(xiàn)在的“光-機(jī)-電”與“信息技術(shù)”的綜合集成；最后是在表述與利用測(cè)量結(jié)果方面經(jīng)歷了“指示表加肉眼讀取”到“記錄器記錄加人工研判”再到現(xiàn)在“計(jì)算機(jī)自動(dòng)分析并將測(cè)量結(jié)果反饋到制造系統(tǒng)”的飛躍。并且與此同時(shí)，齒輪測(cè)量?jī)x也是經(jīng)歷了從單品種單參數(shù)儀器到單品種多參數(shù)儀器的轉(zhuǎn)變，最后演變?yōu)楝F(xiàn)在的多品種多參數(shù)的儀器。該文研究者針對(duì)齒輪測(cè)量技術(shù)的新發(fā)展進(jìn)行分析，分別論述基于新測(cè)量原理的齒輪快速測(cè)量技術(shù)、基于光學(xué)方法的齒輪并行測(cè)量技術(shù)以及面向網(wǎng)絡(luò)的齒輪閉環(huán)測(cè)量技術(shù)。

1 基于齒輪雙面嚙合多維測(cè)量原理的齒輪在線快速測(cè)量技術(shù)

傳統(tǒng)的齒輪在線快速測(cè)量技術(shù)一般都是采用齒輪雙面嚙合測(cè)量的原理，因?yàn)檫@一原理十分簡(jiǎn)單，且測(cè)量效率又高，對(duì)環(huán)境沒(méi)有什么嚴(yán)格的要求，同時(shí)又具備可使測(cè)量齒輪制作更加簡(jiǎn)便的特點(diǎn)，滿足了快速測(cè)量的要求，過(guò)去對(duì)齒輪雙面嚙合測(cè)量技術(shù)的研究主要在兩個(gè)方面，一個(gè)是采用微電子與計(jì)算機(jī)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)測(cè)量過(guò)程的自動(dòng)化，并對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行各種分析與處理；另一個(gè)是測(cè)量方法蘊(yùn)涵并掩蓋的信息量，通過(guò)改變測(cè)量齒輪的結(jié)構(gòu)形式來(lái)盡可能多的挖掘出新的齒輪誤差信息，但是這些努力都沒(méi)有改變齒輪以嚙測(cè)量的本質(zhì)，通過(guò)這項(xiàng)測(cè)量技術(shù)所獲得的徑向綜合誤差是綜合了齒輪左右齒面多種單項(xiàng)誤差作用的結(jié)果，主要反映了被測(cè)齒輪的徑向誤差，最后經(jīng)理論與實(shí)踐證明，通過(guò)以嚙測(cè)量所獲得的結(jié)果很難保證齒輪軸向精度指標(biāo)能否合格，而且齒輪軸向的精度在一定程度上是由齒輪壽命、振動(dòng)與噪聲決定的，雖然在計(jì)量室條件下測(cè)量齒輪軸向精度都是比較成熟的技術(shù)，但是面向生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)中大批量齒輪的快速檢測(cè)中，想要快速獲取齒輪的軸向精度信息是十分困難的。而齒輪雙面嚙合多維測(cè)量原理就是這時(shí)候發(fā)展起來(lái)的，當(dāng)被測(cè)齒輪與測(cè)量齒輪作無(wú)側(cè)隙嚙合滾動(dòng)時(shí)，測(cè)量中心距的變化量與齒輪的軸線偏擺量，再處理多路測(cè)量信號(hào)并獲取齒輪的徑向綜合誤差與軸向誤差信息。其實(shí)就是在傳統(tǒng)的雙面嚙合測(cè)量法上增加齒輪的自由度，再通過(guò)新增的自由度來(lái)反映被測(cè)齒輪的軸向精度信息。關(guān)鍵就在于改變了傳統(tǒng)測(cè)量的一維測(cè)量的本質(zhì)，又能在一次快速測(cè)量中同時(shí)得到被測(cè)齒輪的軸向精度信息。而之所以能實(shí)現(xiàn)齒輪雙面嚙合多維測(cè)量原理，主要是因?yàn)樵趥鹘y(tǒng)雙嚙儀的基礎(chǔ)上增加了一個(gè)二維浮動(dòng)機(jī)構(gòu)，上面安裝特殊測(cè)量齒輪，不但可以徑向移動(dòng)，而且二維浮動(dòng)機(jī)構(gòu)還能作微小徑向偏轉(zhuǎn)與切向偏轉(zhuǎn)。

2 基于光學(xué)方法的齒輪并行測(cè)量技術(shù)

不管是采用測(cè)頭還是標(biāo)準(zhǔn)齒輪，基于接觸法的齒輪測(cè)量都屬于串聯(lián)測(cè)量，也就是先測(cè)上一點(diǎn)然后測(cè)量下一點(diǎn)，通過(guò)測(cè)量一系列的點(diǎn)來(lái)完成相關(guān)測(cè)量要求，但是通過(guò)齒輪串聯(lián)測(cè)量方式獲得的齒面信息不夠豐富，且測(cè)量效率偏低，這時(shí)基于非接觸測(cè)量的光學(xué)方法應(yīng)時(shí)發(fā)展了起來(lái)，它可以同時(shí)獲得被測(cè)量的信息，因此也被稱為并聯(lián)測(cè)量，其實(shí)對(duì)并聯(lián)測(cè)量的研究已有二十年的歷史，但真正發(fā)展起來(lái)是在近幾年，主要是由于光電技術(shù)與IT技術(shù)的發(fā)展為實(shí)現(xiàn)并聯(lián)測(cè)量提供了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)基礎(chǔ)。目前光學(xué)方法測(cè)量齒輪主要有兩種方法，即采用相移法的齒面測(cè)量與基于攝影的齒輪參數(shù)測(cè)量。

2.1 基于相移的三維齒面測(cè)量技術(shù)

該測(cè)量系統(tǒng)一般多采用基于四步相移法的測(cè)量技術(shù)，實(shí)際上就是測(cè)量被測(cè)齒輪與標(biāo)準(zhǔn)齒輪的差別，屬于一種比較測(cè)量，測(cè)量一個(gè)齒面只需一秒鐘的時(shí)間，而且分辨率在一微米，它能獲得面齒上1 000*1 000點(diǎn)的信息，而且使用這種測(cè)量方法還可測(cè)量斜齒輪，但是要保證測(cè)量的精度必須先保證標(biāo)準(zhǔn)齒輪的精度，目前已研制出絕對(duì)測(cè)量的齒面測(cè)量系統(tǒng)。

2.2 基于攝影的齒輪參數(shù)測(cè)量

通常的測(cè)量系統(tǒng)由光學(xué)照明系統(tǒng)、CCD攝像頭、圖像采集系統(tǒng)、與計(jì)算機(jī)以及相應(yīng)的軟件組成，其工作的原理是由照明系統(tǒng)發(fā)出的平行光線而使齒輪產(chǎn)生陰影輪廓，再經(jīng)透鏡系統(tǒng)聚集后成像于CCD面陣上，CCD將圖像信號(hào)變?yōu)殡姾尚盘?hào)，利用圖像采集卡存入到計(jì)算機(jī)內(nèi)存中，然后所采集到的圖像經(jīng)由軟件的處理、存儲(chǔ)并計(jì)算出相應(yīng)的各個(gè)尺寸，利用圖像測(cè)量技術(shù)進(jìn)行齒輪非接觸測(cè)量，測(cè)得齒輪中心、齒頂圓半徑、齒根圓半徑、齒烽、模數(shù)、齒頂高系數(shù)、齒頂高變動(dòng)系數(shù)、變位系數(shù)、壓力角與齒距等參數(shù)。這種測(cè)量系統(tǒng)的精度取決于標(biāo)定精度，而標(biāo)定的方法一般是在視場(chǎng)內(nèi)放置一標(biāo)準(zhǔn)尺寸的試塊，測(cè)量系統(tǒng)處理工件時(shí)讀取該試塊的像素值，然后再用工件的像素值除以該試塊的像素值，就可達(dá)到自動(dòng)校正的目的。在實(shí)際的測(cè)量中，測(cè)量精度不但取決于標(biāo)定精度，還取決于CCD本身的誤差與光學(xué)系統(tǒng)的誤差。

2.3 面向網(wǎng)絡(luò)的齒輪閉環(huán)測(cè)量技術(shù)

齒輪閉環(huán)測(cè)量是將齒輪幾何精度的測(cè)量結(jié)果反饋給機(jī)床，并以此為依據(jù)來(lái)修磨刀具并調(diào)整機(jī)床，屬于主動(dòng)測(cè)量，其主要是應(yīng)用于螺旋錐齒輪的檢驗(yàn)與機(jī)床、刀具參數(shù)的調(diào)整上，以往主要是依據(jù)螺旋錐齒輪的配對(duì)檢驗(yàn)機(jī)的檢驗(yàn)結(jié)果來(lái)進(jìn)行判斷的，然而這種測(cè)量方法測(cè)量出來(lái)的結(jié)果帶有隨機(jī)性，完全依靠經(jīng)驗(yàn)來(lái)判斷，同時(shí)測(cè)量與機(jī)床調(diào)整都需要耗費(fèi)大量的時(shí)間，而且難度大、生產(chǎn)成本高、周期長(zhǎng)。在螺旋錐齒輪試切時(shí)質(zhì)量不能完全達(dá)到要求，這時(shí)可以通過(guò)齒輪測(cè)量閉環(huán)系統(tǒng)的相應(yīng)軟件依據(jù)測(cè)量結(jié)果重新計(jì)算并調(diào)整機(jī)床加工參數(shù)，以使再次試切時(shí)加工出質(zhì)量更好的產(chǎn)品。面向網(wǎng)絡(luò)的齒輪閉環(huán)測(cè)量技術(shù)是結(jié)合傳統(tǒng)齒輪閉環(huán)測(cè)量技術(shù)與網(wǎng)絡(luò)技術(shù)，目前還正在研究中，研究的主要內(nèi)容主要是局域范圍內(nèi)齒輪質(zhì)量監(jiān)控系統(tǒng)與全域范圍的齒輪質(zhì)量監(jiān)控系統(tǒng)，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)單臺(tái)機(jī)床產(chǎn)品質(zhì)量的測(cè)量與基于測(cè)量的機(jī)床調(diào)整、區(qū)域內(nèi)產(chǎn)品流程中質(zhì)量的變化與整體工藝性能的監(jiān)控等。

3 結(jié)語(yǔ)

綜上所述，齒輪在線快速檢測(cè)就是雙面嚙合多維測(cè)量，是創(chuàng)新雙面嚙合一維測(cè)量原理的進(jìn)一步發(fā)展，適用于齒輪的大批量現(xiàn)場(chǎng)快速檢測(cè)；齒輪非接觸并聯(lián)測(cè)量則是在齒輪測(cè)量中應(yīng)用數(shù)字圖像處理技術(shù)，但受到精度與被測(cè)齒輪材質(zhì)的限制，還在剛起步階段；面向網(wǎng)絡(luò)的齒輪閉環(huán)測(cè)量已不僅僅用于螺旋錐齒輪的檢驗(yàn)與機(jī)床、刀具參數(shù)的調(diào)整，從根本上得到改變。

參考文獻(xiàn)

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（蚌埠學(xué)院 數(shù)學(xué)與物理系，安徽 蚌埠 233030）

基金項(xiàng)目：基金項(xiàng)目：專業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整服務(wù)地方發(fā)展計(jì)劃（2013zytz077）、校級(jí)大學(xué)物理團(tuán)隊(duì)項(xiàng)目（2013jyxmo5）、蚌埠學(xué)院2015年院級(jí)科研項(xiàng)目（2015ZR17）、蚌埠學(xué)院2012年院級(jí)重點(diǎn)教研項(xiàng)目（JYLZ1205）

摘 要：較化學(xué)檢測(cè)法等傳統(tǒng)環(huán)境污染檢測(cè)方法，光學(xué)測(cè)量方法以其無(wú)可比擬的優(yōu)勢(shì)廣泛應(yīng)用于環(huán)境污染物的檢測(cè)及監(jiān)測(cè)，近幾十年來(lái)發(fā)展迅速，并具有廣泛的應(yīng)用前景。隨著激光技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，光學(xué)測(cè)量方法也隨之變革。例如激光光譜對(duì)特定氣體的檢測(cè)（LASAIR系統(tǒng)），紫外差分光學(xué)吸收光譜儀（DOAS系統(tǒng)）和傅里葉變換紅外干涉儀（FTIR系統(tǒng)）等，都為這一變革提供有力的佐證。論文介紹光學(xué)顯微鏡檢測(cè)方法，光學(xué)分析方法以及光電檢測(cè)技術(shù)，重點(diǎn)分析光學(xué)顯微鏡檢測(cè)方法在環(huán)境監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用、光學(xué)分析方法在水質(zhì)檢測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用、光電檢測(cè)技術(shù)在環(huán)境監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用，光學(xué)測(cè)量方法的最新發(fā)展方向。

關(guān)鍵詞 ：光學(xué)顯微鏡；光電檢測(cè)技術(shù)；光譜學(xué)分析法；DOAS系統(tǒng)；FTIR系統(tǒng)；LASAIR系統(tǒng)

中圖分類號(hào)：O439文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A文章編號(hào)：1673-260X（2015）08-0005-04

隨著現(xiàn)代科技的不斷更新與物質(zhì)生活的高度發(fā)達(dá)，環(huán)境污染物的排放量日益增多，人們?cè)谙硎苤S富物質(zhì)生活的同時(shí)，也受到了環(huán)境污染帶來(lái)的沖擊，例如酸雨的侵害，霧霾天氣的影響，全球變暖導(dǎo)致的海平面上升等問(wèn)題。傳統(tǒng)的檢測(cè)方法（如化學(xué)法），由于用時(shí)長(zhǎng)、花費(fèi)高、操作復(fù)雜，需要各個(gè)部門相互協(xié)作，甚至在檢測(cè)時(shí)都可能會(huì)產(chǎn)生環(huán)境污染物，越來(lái)越受到抵制。而光學(xué)測(cè)量方法在環(huán)境檢測(cè)方面，更能有效地避免這些弊端的產(chǎn)生。

在環(huán)境中，對(duì)于水質(zhì)，有關(guān)部門主要通過(guò)對(duì)水質(zhì)采樣、化驗(yàn)、分析的方法實(shí)現(xiàn)對(duì)水質(zhì)的監(jiān)控。對(duì)于水體富營(yíng)養(yǎng)化的這種情況，有關(guān)部門通過(guò)光學(xué)顯微鏡直接對(duì)水體進(jìn)行觀查即可。而對(duì)于重金屬污染過(guò)的水源，往往光學(xué)顯微鏡很難直接觀測(cè)出來(lái)，還要通過(guò)物理或化學(xué)的方法使重金屬沉積，沉淀或“染色”，才有可能觀察到。但是這種方法用時(shí)長(zhǎng)，不利于及時(shí)了解水污染的情況，而且在使重金屬沉淀的方法中，有可能又會(huì)產(chǎn)生新的污染物，樣品處理又帶來(lái)了困難。由于光學(xué)顯微鏡很難實(shí)現(xiàn)對(duì)空氣的檢測(cè)，所以在環(huán)境監(jiān)測(cè)中用處并不大。這時(shí)人們聯(lián)想到，也可以通過(guò)光的其他特性來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)環(huán)境的實(shí)時(shí)的監(jiān)控。而光電檢測(cè)技術(shù)（如外光譜法，激光光譜法等），人們可以直接檢測(cè)環(huán)境中的污染物，無(wú)需費(fèi)時(shí)費(fèi)力，既能實(shí)時(shí)地反映出污染物的量和濃度，又不會(huì)產(chǎn)生附加污染物，且在環(huán)境監(jiān)測(cè)中實(shí)用性很強(qiáng)。光電檢測(cè)技術(shù)利用光的光譜特性，可以在受污染的水中使用，也可以在工廠的排氣煙囪中使用，甚至可以專一地檢測(cè)某種氣體，例如，甲烷氣體，二氧化碳?xì)怏w，含硫化合物氣體等[1]。

1 光學(xué)顯微鏡檢測(cè)方法在環(huán)境監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用

在現(xiàn)實(shí)生活中，我們最易受到水污染帶來(lái)的侵害，水體富營(yíng)養(yǎng)化一直是我們關(guān)注的重大問(wèn)題，而光學(xué)顯微鏡在這方面的檢測(cè)應(yīng)用極其廣泛。環(huán)境保護(hù)部門在水污染地需要將水質(zhì)進(jìn)行抽樣、化驗(yàn)、分析、觀察，這時(shí)就要用到光學(xué)顯微鏡[2]。

1.1 細(xì)菌、霉菌檢測(cè)

水體細(xì)菌含量是人們辨別水質(zhì)是否利于飲用的重要標(biāo)準(zhǔn)，如人們會(huì)對(duì)水中的大腸桿菌群檢測(cè)做一個(gè)革蘭氏染色鏡檢。

1.2 生物群落檢測(cè)

浮游植物是水域的初級(jí)生產(chǎn)者，繁殖速度很快。水體富營(yíng)養(yǎng)化會(huì)促進(jìn)其繁殖能力，從而影響水質(zhì)的飲用安全。對(duì)浮游植物的檢測(cè)，離不開(kāi)光學(xué)顯微鏡。光學(xué)顯微鏡直接對(duì)水質(zhì)進(jìn)行觀察監(jiān)測(cè)，每過(guò)一段時(shí)間，鏡檢跟蹤浮游植物的群落狀況，以判斷水體是否富營(yíng)養(yǎng)化。

1.3 特殊物質(zhì)檢測(cè)

石棉纖維被動(dòng)物體吸入肺部后，容易沉著在肺泡內(nèi)，影響動(dòng)物體的呼吸，對(duì)動(dòng)物體的健康影響很大。在用光學(xué)顯微鏡檢測(cè)時(shí)，必須用高倍鏡才能觀察到石棉纖維，因此，對(duì)光學(xué)顯微鏡的分辨率要求比較高。為確定肝癌細(xì)胞的使用量，需要用光學(xué)顯微鏡鏡檢肝癌細(xì)胞的復(fù)蘇狀況。

二噁英（Dioxin），是某些有害物燃燒后產(chǎn)生的脂溶性物質(zhì)，不能被生物分解，具有很強(qiáng)的危害性。利用離體肝癌細(xì)胞的EROD與二噁英的復(fù)合毒性效應(yīng)是生物學(xué)中的一種檢測(cè)方法。環(huán)境監(jiān)測(cè)部門也利用這種方法對(duì)環(huán)境中的石棉塵（石棉纖維）進(jìn)行監(jiān)測(cè)。

在受污染的水體中，培養(yǎng)魚(yú)（一般選擇生長(zhǎng)速度快的青魚(yú)）的受精卵，在魚(yú)卵孵化過(guò)程中，使用光學(xué)顯微鏡監(jiān)測(cè)受精卵的孵出率，并觀察胚胎發(fā)育過(guò)程中畸形胎所占比重。

1.4 環(huán)境毒性測(cè)試

根據(jù)所知的生物學(xué)，單細(xì)胞藻類有很強(qiáng)的繁殖能力?？梢栽谒w中培養(yǎng)藻類，用光學(xué)顯微鏡觀察，監(jiān)測(cè)藻類世代的生長(zhǎng)情況和藻類種群的變化情況，判斷水體中是否存在急性的毒性物質(zhì)[3]。

2 光學(xué)分析方法在水質(zhì)檢測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用

物質(zhì)在吸收光波后，會(huì)在某一波段有一個(gè)吸收峰，通過(guò)分析這個(gè)波段，就可以得出該物質(zhì)的光譜特性，光學(xué)分析方法就是在此研究基礎(chǔ)上找到的一種測(cè)量方法[4]。反應(yīng)靈敏度高，檢測(cè)速度快的優(yōu)點(diǎn)是人們?cè)诓捎眠@種光學(xué)測(cè)量方法時(shí)首要的考慮因素。某些光學(xué)分析方法，人們往往既不需要像傳統(tǒng)檢測(cè)方法一樣去使用試劑，又不需要花費(fèi)太多的精力去維護(hù)相關(guān)的儀器設(shè)備。近幾十年來(lái)，光學(xué)分析方法隨著科技的腳步，在水質(zhì)檢測(cè)方面也跨上了一個(gè)新的臺(tái)階[5]。

2.1 比色分析法

比色分析法是指利用物質(zhì)與物質(zhì)之間的化學(xué)反應(yīng)，獲得深顏色的溶液后，通過(guò)比較前后溶液的顏色深淺度來(lái)測(cè)量所含物質(zhì)濃度的方法[6]。比色分析法主要用于水質(zhì)中，有色重金屬離子的濃度檢測(cè)。但是，有些重金屬離子卻是無(wú)色的，例如一價(jià)銅離子溶液，這時(shí)可以根據(jù)其易被氧化的化學(xué)特性，將一價(jià)銅離子溶液氧化成藍(lán)色的二價(jià)銅離子溶液。比色分析法可分為目視比色分析法和光電比色分析法，兩種方法的測(cè)量原理均為朗伯－比爾（Lambert-Beer）定律。但是，目視比色分析法中，人的主觀判斷會(huì)影響未知量的測(cè)量，因此目視比色分析法準(zhǔn)確度不高。而采用分光光度法的光電比色分析法，彌補(bǔ)了主觀判斷造成的失誤，未知量的準(zhǔn)確度和靈敏度得到了提高。

通過(guò)了解，可以看出，使用比色分析法時(shí)，必須建立在顯色反應(yīng)的基礎(chǔ)上，因此對(duì)溶液離子的化學(xué)性質(zhì)要求比較高。人們可以采取目測(cè)的手段，也可以采用與離子反射或吸收波長(zhǎng)相對(duì)應(yīng)的單色光源進(jìn)行檢測(cè)，還可以使用與高速計(jì)算機(jī)聯(lián)接的攝像頭進(jìn)行圖像綜合對(duì)比分析。利用顯色劑的不同反應(yīng)，比色分析法可被廣泛地應(yīng)用在水質(zhì)監(jiān)測(cè)方面以及測(cè)定受污染水質(zhì)中的各類污染物濃度。

2.2 紫外光譜分析法

紫外光具有波長(zhǎng)短，能量大，透過(guò)力強(qiáng)的特點(diǎn)，利用這一特點(diǎn)，人們可以通過(guò)紫外光譜區(qū)進(jìn)行檢測(cè)。有機(jī)分子在紫外光譜區(qū)的吸收較強(qiáng)（其實(shí)就是高能量脈沖殺死了有機(jī)活性物質(zhì)），因此適用于檢測(cè)水體有機(jī)污染物。紫外光譜分析法，分為單波長(zhǎng)法，經(jīng)過(guò)多年探索研究后，發(fā)展為雙波長(zhǎng)法，循序漸進(jìn)到如今比較全面的全光譜法。對(duì)單波長(zhǎng)法進(jìn)行改進(jìn)的雙波長(zhǎng)法，在測(cè)量時(shí)，無(wú)需參比溶液即可消除混濁度的影響。全光譜法是在光譜分析儀的基礎(chǔ)上研究出的一種對(duì)待測(cè)溶液比較全面的檢測(cè)方法，包含了吸光度在全紫外光譜區(qū)所有有機(jī)污染物。

2.3 間接測(cè)定法

水質(zhì)中，對(duì)重金屬離子的濃度還有一種間接檢測(cè)方法熒光分析法[7]。顧名思義，熒光分析法就是獲取重金屬離子的熒光圖像，再通過(guò)計(jì)算機(jī)編程處理，由此間接地測(cè)量出重金屬離子的濃度。在這一過(guò)程中，需要用到與重金屬離子相匹配的試劑。

2.4 直接測(cè)定法

直接測(cè)定法省去了間接測(cè)定法中匹配試劑的過(guò)程，檢測(cè)速度有所提高，但是卻要滿足物質(zhì)本身就發(fā)射熒光（如葉綠素、水中有機(jī)物等）這一苛刻條件。不管是間接測(cè)定法還是直接測(cè)定法，都無(wú)法忽略光源的重要作用。尤其是在直接測(cè)定中，要求光源的發(fā)射光波長(zhǎng)與物質(zhì)的吸收光波長(zhǎng)一致。激光光源由于其得天獨(dú)厚的優(yōu)點(diǎn)（單色性好、能量集中），受到了研究人員的高度關(guān)注，激光誘導(dǎo)熒光技術(shù)就是采用激光作為光源的熒光檢測(cè)技術(shù)。目前，激光光源在直接測(cè)定法中幾乎已經(jīng)取代了傳統(tǒng)光源的檢測(cè)地位。

3 光電檢測(cè)技術(shù)在環(huán)境監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用

雖然光學(xué)顯微鏡在水體污染的監(jiān)測(cè)中可謂嶄露頭角，但在空氣污染物的監(jiān)測(cè)中卻顯得捉襟見(jiàn)肘?？諝馕廴疚锿ǔＶ敢詺鈶B(tài)形式進(jìn)入大氣層來(lái)物質(zhì)（主要是人為污染，例如含硫化合物，二氧化碳?xì)怏w等等），其對(duì)人體或生態(tài)系統(tǒng)具有很不好的效應(yīng)，例如酸雨，霧霾等等。隨著光學(xué)的發(fā)展，光電檢測(cè)技術(shù)逐步應(yīng)用到現(xiàn)實(shí)生活中，尤其在環(huán)境監(jiān)測(cè)中，以其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)獲得了人們的青睞。

3.1 光電檢測(cè)技術(shù)的原理

光電檢測(cè)是指利用各類光電傳感器，將被測(cè)量的物理信息轉(zhuǎn)換成光信息，再通過(guò)A/D轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，再綜合利用信息傳輸技術(shù)和計(jì)算機(jī)編程處理技術(shù)，完成信息獲取。當(dāng)光照射到物體表面時(shí)，使物體發(fā)射電子、或電導(dǎo)率發(fā)生變化、或產(chǎn)生光電動(dòng)勢(shì)等。這種因光照而引起物體特性發(fā)生變化的現(xiàn)象稱為光電效應(yīng)光電檢測(cè)系統(tǒng)以激光、紅外、光纖等現(xiàn)代光電器件為基礎(chǔ)，對(duì)載有待測(cè)物體信號(hào)的光信息進(jìn)行處理，即通過(guò)光電檢測(cè)器件接收光信息并轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。由輸入電路、放大濾波等電路提取待測(cè)物的信息，再經(jīng)過(guò)A/D轉(zhuǎn)換器輸入計(jì)算機(jī)運(yùn)算和處理，最后提取出待測(cè)物體的幾何量或物理量等所需信息（如圖1的光電檢測(cè)系統(tǒng)）。

3.2 光電檢測(cè)系統(tǒng)在環(huán)境檢測(cè)中的應(yīng)用

光與物質(zhì)的相互作用，改變了物質(zhì)的某些物理特性。利用這種特性，制作的光電檢測(cè)系統(tǒng)可以分為兩大類：使用能覆蓋寬光譜區(qū)的寬帶光源的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)；使用激光或窄光譜光源，因而只能覆蓋窄光譜區(qū)的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)[8-9]。在寬帶監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，傅里葉變換紅外干涉儀（FTIR）或紫外差分光學(xué)吸收光譜儀（Uv-DOAs，又名DOAs系統(tǒng)）測(cè)系統(tǒng)可同時(shí)監(jiān)測(cè)未知混合物中的多種化合物。通常這些化合物是包含在寬譜帶內(nèi)的，寬帶監(jiān)測(cè)系統(tǒng)能“觀察到多種化合物的存在，但分辨率不高，不能將這些化合物從復(fù)雜混合物中直接區(qū)分開(kāi)來(lái)”。但是，當(dāng)寬帶監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的分辨率低于欲觀察的光譜線中的精細(xì)結(jié)構(gòu)時(shí)，就不能觀察到真正的吸收峰，且會(huì)限制對(duì)氣體濃度值的檢測(cè)。

激光監(jiān)測(cè)系統(tǒng)由于分辨率高，掃描光譜范圍窄，所以檢測(cè)靈敏度相當(dāng)高，但是激光監(jiān)測(cè)系統(tǒng)發(fā)出的波長(zhǎng)必須與被檢測(cè)化合物吸收譜線的光波長(zhǎng)相匹配。由于激光監(jiān)測(cè)系統(tǒng)發(fā)出的激光波長(zhǎng)是單色的，掃描波段被限制在極窄的范圍內(nèi)，一般情況下只能對(duì)應(yīng)的檢測(cè)出一種化合物。若檢測(cè)的是混合物，則需要另加對(duì)應(yīng)的監(jiān)測(cè)裝置。在目前的環(huán)境監(jiān)測(cè)中，寬帶監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和激光監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，這兩種類型的監(jiān)測(cè)裝置都有其應(yīng)用。例如，F(xiàn)TIR監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，它可提供對(duì)企業(yè)事故中泄漏出的某些有害化合物進(jìn)行檢測(cè)。這時(shí)對(duì)所有的可能的有害化合物來(lái)說(shuō)，檢測(cè)靈敏度就不如檢測(cè)范圍重要。但如果要連續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)從污染源（如煙囪向大氣層中排放污染物，汽車尾氣排放的污染氣體時(shí)）釋放出的有害氣體，則監(jiān)測(cè)裝置抗其他化合物干擾的能力和高檢測(cè)靈敏度就是重要因素了，這時(shí)，激光監(jiān)測(cè)系統(tǒng)就成為了理想的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。激光雷達(dá)像其它激光監(jiān)測(cè)系統(tǒng)一樣，能檢測(cè)的樣品不多，但它具有空間分辨力，是迄今為止，唯一能提供空間信息技術(shù)的檢測(cè)系統(tǒng)，因此，探索污染物的發(fā)源地，激光雷達(dá)系統(tǒng)是最好的檢測(cè)系統(tǒng)。諸如高空大氣層中臭氧的消耗情況，可以使用激光雷達(dá)系統(tǒng)進(jìn)行計(jì)算機(jī)模擬繪圖。使用激光雷達(dá)系統(tǒng)提供大氣層中空氣分子成分分布的垂直剖面圖，可以對(duì)大氣傳輸和擴(kuò)散過(guò)程有更透徹的了解。

DOAS系統(tǒng)可以測(cè)量多種化合物，如含氮化合物、甲醛、酚、苯、甲苯、二甲苯[10]。它的工作原理是根據(jù)光的反射定律，光源發(fā)射的光波經(jīng)過(guò)某些物質(zhì)后，經(jīng)吸收的光波與光源光波一起被反射鏡反射回來(lái)，利用計(jì)算機(jī)高速運(yùn)算的能力分析光波的差異性，故而稱作差分光學(xué)吸收光譜技術(shù)。調(diào)取吸收光譜數(shù)據(jù)庫(kù)中已知數(shù)據(jù)，與吸收光譜數(shù)據(jù)相比較，從而分析物質(zhì)中存在的化合物種類。

LASAIR系統(tǒng)是激光技術(shù)與計(jì)算機(jī)技術(shù)相結(jié)合的高新技術(shù)[11-12]，利用激光的單色性和計(jì)算機(jī)的高速運(yùn)算能力，提高了檢測(cè)效率?？烧{(diào)二極管激光吸收光譜分析儀發(fā)射出的激光光波長(zhǎng)，足以滿足吸收峰在中紅外區(qū)（320um的范圍內(nèi)）的物質(zhì)檢測(cè)，適合大多數(shù)的工業(yè)環(huán)境監(jiān)測(cè)?？烧{(diào)二極管激光吸收光譜儀，已在全球范圍內(nèi)有毒有害氣體的檢測(cè)上發(fā)揮了重要作用。LASAIR能測(cè)量的氣體分子包括NOx、HF、HCI、HI、NH3、C2H2、COx、H2S、CH4。但是，由于每種氣體對(duì)光波的吸收峰值不盡相同，必須要使用發(fā)射對(duì)應(yīng)吸收峰值波長(zhǎng)的激光光源。

4 結(jié)束語(yǔ)

隨著時(shí)代而發(fā)展的光纖通訊和光電子信息技術(shù)被應(yīng)用于環(huán)境監(jiān)測(cè)中，尤其是具有體積小、壽命長(zhǎng)和光電轉(zhuǎn)換效率高的近紅外二極管激光器[13-14]，目前已經(jīng)迅速商品化，成為了檢測(cè)空氣污染物質(zhì)的最合適光源。而調(diào)諧二極管激光吸收技術(shù)利用分子的吸收光譜單一分立吸收線這一原理，可以采樣到被檢測(cè)氣體的每種光學(xué)信息。當(dāng)激光通過(guò)被檢測(cè)氣體時(shí)，光電磁波會(huì)被吸收和散射而衰減。利用被測(cè)量物質(zhì)分子的吸收能力遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于物質(zhì)分子對(duì)光的散射能力，我們可以忽略掉物質(zhì)分子散射的這一衰弱影響。經(jīng)過(guò)近30年的發(fā)展，調(diào)諧二極管激光吸收技術(shù)日益成熟，被廣泛的應(yīng)用在空氣污染物質(zhì)的檢測(cè)和監(jiān)測(cè)中。隨著光譜學(xué)分析技術(shù)和激光技術(shù)的完美結(jié)合，特別是在近些年來(lái)，制作半導(dǎo)體材料和器件的工藝長(zhǎng)足進(jìn)步的情形下，激光光譜學(xué)分析技術(shù)在環(huán)境監(jiān)測(cè)方面的應(yīng)用越來(lái)越成熟。

紅外半導(dǎo)體激光器可以在常溫下工作，取代了傳統(tǒng)光源的地位[15]。研究結(jié)果表明，紅外半導(dǎo)體激光器的發(fā)射波長(zhǎng)與很多環(huán)境污染氣體的吸收波長(zhǎng)相同。由于紅外半導(dǎo)體激光器具有譜線窄、單頻、功率大、工作可靠的優(yōu)點(diǎn)，也為制作高質(zhì)量，高水準(zhǔn)的氣體檢測(cè)儀打下了堅(jiān)實(shí)重要的基礎(chǔ)。根據(jù)其對(duì)環(huán)境的抗干擾能力強(qiáng)，經(jīng)常不需要標(biāo)定，可直接安裝在管道上檢測(cè)等實(shí)用性的特點(diǎn)，被大量使用在工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中檢測(cè)污染氣體方面。

從光學(xué)顯微鏡早期在環(huán)境監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用（主要在水質(zhì)檢測(cè)方面），到后來(lái)應(yīng)用光學(xué)分析方法監(jiān)測(cè)環(huán)境，直到現(xiàn)在人們又通過(guò)光的其他特性發(fā)明了各式各樣的監(jiān)測(cè)儀器，如：激光監(jiān)測(cè)儀（DOAS系統(tǒng)），傅里葉變換紅外干涉儀（FTIR監(jiān)測(cè)系統(tǒng)）。可以說(shuō)，光學(xué)測(cè)量方法是隨著光學(xué)的發(fā)展而發(fā)展變化的。隨著量子力學(xué)的發(fā)展，人們對(duì)光的認(rèn)識(shí)不僅僅只是停留在了光譜層面上，而且也通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了人們對(duì)光的本質(zhì)的假設(shè)。人們相信，現(xiàn)在我們所知的光學(xué)只是其冰山一角，光學(xué)測(cè)量方法也會(huì)隨著光學(xué)的發(fā)展而日新月異。

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關(guān)鍵詞:激光;振動(dòng)測(cè)量;技術(shù)

中圖分類號(hào):TN256文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼:A文章編號(hào):1009-3044(2010)02-462-02

Analysis of Laser Vibration Measurement Technology

HAO Feng, WANG Wei-hui

(The Second Artillery Engineering College, Xi'an 710025, China)

Abstract: With the progression of society, laser vibration measurement plays an important part in society development. Various of methods, advantage and disadvantage in laser vibration measurement are introduced in this paper. The future prospect of laser vibration measurement are pointed out in the paper.

Key words: laser; vibration measurement; technology

關(guān)于物體的微小振動(dòng)和微小位移精確測(cè)量的相關(guān)研究是隨著精細(xì)加工工藝和微機(jī)械技術(shù)的飛速發(fā)展及大量應(yīng)用而得到人們的廣泛重視的。光學(xué)測(cè)量技術(shù)所具有的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、精度高、耐高壓、耐腐蝕、能在易燃易爆的環(huán)境下可靠運(yùn)行、抗電磁干擾、動(dòng)態(tài)范圍大,并且光學(xué)測(cè)量技術(shù)是一種重要的非接觸式無(wú)損測(cè)量技術(shù),基于其上述優(yōu)點(diǎn),光學(xué)測(cè)量技術(shù)占據(jù)了計(jì)量測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域的主導(dǎo)地位。

目前振動(dòng)測(cè)量在材料探傷、機(jī)械系統(tǒng)的故障診斷、噪聲消除、結(jié)構(gòu)件的動(dòng)態(tài)特性分析及振動(dòng)的有限元計(jì)算結(jié)果驗(yàn)證等方面都得到了廣泛的應(yīng)用,所以激光振動(dòng)測(cè)量技術(shù)有著廣闊的應(yīng)用與發(fā)展前景。

1 激光振動(dòng)測(cè)量技術(shù)的測(cè)量原理及現(xiàn)狀

目前,常用的激光振動(dòng)測(cè)量方法有激光三角法、散斑法、全息法、激光多普勒效應(yīng)法、光纖與微機(jī)電(MEMS)法和干涉法等。由于這些技術(shù)的使用,使得激光振動(dòng)測(cè)量的分辨率或精度在很大程度上得到了提高。下面分別介紹幾種常用的光學(xué)振動(dòng)測(cè)量方法:

1.1 激光三角測(cè)振法

激光三角法[1-2]是利用幾何光學(xué)成像原理,將激光器發(fā)出的光經(jīng)發(fā)射透鏡匯聚于被測(cè)物體表面形成入射光點(diǎn),該光點(diǎn)通過(guò)接收透鏡匯聚于光電探測(cè)器上,形成像點(diǎn),使用對(duì)位置敏感的傳感器就可接收到這一信息。當(dāng)入射光點(diǎn)與該光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)生相對(duì)入射光軸方向的振動(dòng)或位移時(shí),引起像光點(diǎn)在感光面上發(fā)生位移,從而引起光電探測(cè)器輸出電信號(hào)的變化,根據(jù)電信號(hào)的變化量可求出像點(diǎn)唯一的變化量,通過(guò)信號(hào)處理可得到被測(cè)目標(biāo)位移或振動(dòng)信號(hào)。

該方法對(duì)于振動(dòng)的測(cè)量是非接觸形式的。激光三角測(cè)振法具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,發(fā)展比較成熟等優(yōu)點(diǎn),適用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)安裝使用。但是該方法的不利之處一方面是光電探測(cè)器的靈敏度和尺寸限制了該方法的分辨率和測(cè)量范圍,另一方面是發(fā)射透鏡的焦距限制了該方法的工作距離,不適于遠(yuǎn)距離處的微小振動(dòng)測(cè)量。

1.2 光強(qiáng)測(cè)振法

光強(qiáng)測(cè)振法[1-2]是利用被測(cè)目標(biāo)相對(duì)投射光束,或反射光束相對(duì)探測(cè)光路的位置變化導(dǎo)致探測(cè)光強(qiáng)的變化來(lái)探測(cè)振動(dòng)。

該方法對(duì)于振動(dòng)的測(cè)量既可以是接觸式的,也可以是非接觸式的。光強(qiáng)測(cè)振法具有信號(hào)處理方便、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本較低等優(yōu)點(diǎn),可以廣泛應(yīng)用于各種場(chǎng)合。而且光強(qiáng)法與光纖的緊密結(jié)合,使得光強(qiáng)測(cè)振法的應(yīng)用領(lǐng)域得到進(jìn)一步拓展。該方法的不利之處在于光強(qiáng)易受外界環(huán)境和光源干擾的影響,使得測(cè)量結(jié)果精度不高,所以一般采用多波長(zhǎng)、多光束等方法來(lái)改進(jìn)光強(qiáng)測(cè)振法的不利之處,提高光強(qiáng)測(cè)振法的抗干擾能力。

1.3 全息測(cè)振法

全息法[1-2]是將相干光束的一部分作為參考光波,其余部分投射到物體上并被其反射作為物光波,兩光波相遇產(chǎn)生干涉,所形成的干涉場(chǎng)反映了被測(cè)物體的振動(dòng)情況,該干涉場(chǎng)由照相底片記錄經(jīng)過(guò)適當(dāng)顯影形成全息圖。全息干涉測(cè)振可以對(duì)整個(gè)振動(dòng)面上的點(diǎn)位置進(jìn)行測(cè)量,通過(guò)比較不同時(shí)刻的全息干涉圖,就能夠描繪出被測(cè)振動(dòng)面上各點(diǎn)的振動(dòng)情況。

該方法對(duì)于振動(dòng)的測(cè)量是非接觸形式的全場(chǎng)同時(shí)測(cè)量。全息測(cè)振法具有可以進(jìn)行面測(cè)量,同時(shí)獲得多點(diǎn)數(shù)據(jù)的優(yōu)點(diǎn)。該方法的不利之處在于須用銀鹽干板作記錄介質(zhì),全息圖需要進(jìn)行照相及沖洗等處理,操作過(guò)程復(fù)雜,處理?xiàng)l紋圖極其費(fèi)時(shí),無(wú)法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)測(cè)量,實(shí)際應(yīng)用較困難。

1.4 激光多普勒效應(yīng)測(cè)振法

多普勒測(cè)量[4-7]中的多普勒信號(hào)通常都是從被測(cè)物體的散射光中獲得的,信噪比低,且包含有運(yùn)動(dòng)速度、光源、接收器之間的角度因素,由于這些因素會(huì)引入較大的測(cè)量誤差。對(duì)振動(dòng)特性的計(jì)算方法為信號(hào)中的每一個(gè)差拍波對(duì)應(yīng)一個(gè)位移當(dāng)量值,被測(cè)振幅的獲得是經(jīng)過(guò)對(duì)相鄰兩個(gè)翻轉(zhuǎn)點(diǎn)之間的差拍波的個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)而得到的。

該方法的測(cè)量不需要干涉儀組件,可精密裝配。激光多普勒效應(yīng)測(cè)振法具有被測(cè)速度矢量與多普勒頻移呈線性關(guān)系,對(duì)于任何復(fù)雜的物體運(yùn)動(dòng)都適合研究的優(yōu)點(diǎn)。因此,激光多普勒技術(shù)是一種高精度動(dòng)態(tài)測(cè)量方法。該方法的不利之處在于得不到小于當(dāng)量值的位移,測(cè)量分辨率很低。激光光柵多普勒效應(yīng)的微振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)的提出改變了以上不足。

1.5 光纖與MEMS測(cè)振法

光纖與MEMS技術(shù)相結(jié)合的振動(dòng)傳感器[1-2,8]在振動(dòng)傳感領(lǐng)域中一軍突起。在微光機(jī)電傳感器中,光纖可作為傳光介質(zhì),為傳感器提供光連接,傳感器內(nèi)部的電信號(hào)經(jīng)由發(fā)光二極管轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào),再輸送到外部設(shè)備,這樣可以使測(cè)量結(jié)果大大免受外界電磁干擾。光纖也可用來(lái)構(gòu)造光路,成為集成傳感器的一部分,作為懸臂梁感受外界振動(dòng),通過(guò)測(cè)量經(jīng)過(guò)光纖的光強(qiáng)變化來(lái)實(shí)現(xiàn)振動(dòng)傳感。

光纖與MEMS技術(shù)相結(jié)合的振動(dòng)傳感器的優(yōu)點(diǎn)是可免疫外界電磁干擾,可應(yīng)用于避免使用電信號(hào)的場(chǎng)合,結(jié)構(gòu)布置靈活,適合應(yīng)用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)環(huán)境和復(fù)雜結(jié)構(gòu)空間下的振動(dòng)傳感測(cè)量,適用于微型化和集成化產(chǎn)品。

1.6 干涉測(cè)振法

干涉測(cè)振法是將光束正入射于物體表面,其反射回來(lái)的檢測(cè)光與參考光相遇形成干涉場(chǎng),此后再對(duì)干涉場(chǎng)進(jìn)行處理便得到所要測(cè)量的振動(dòng)信息。

該方法對(duì)于振動(dòng)的測(cè)量是非接觸精密測(cè)量。干涉測(cè)振法具有應(yīng)用范圍廣、重復(fù)性極高、可以對(duì)微小振動(dòng)進(jìn)行高精度測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)。但是該方法的不利之處一方面是由于干涉測(cè)振法具有高靈敏性,環(huán)境擾動(dòng)對(duì)其影響非常突出,當(dāng)光程質(zhì)量不理想時(shí),測(cè)量將無(wú)法進(jìn)行。另一方面是在實(shí)際應(yīng)用中很難保證入射光垂直于被測(cè)物體表面,以及目標(biāo)物體表面的不平整性,使得由目標(biāo)物返回的檢測(cè)光與參考光將不能很好的重合,尤其當(dāng)兩束光偏差太大就不能形成干涉,這將使測(cè)量無(wú)法進(jìn)行。因此,人們先后發(fā)明了光波頻率調(diào)制補(bǔ)償法、機(jī)械式位相調(diào)制補(bǔ)償法以及將機(jī)械補(bǔ)償和光調(diào)制相結(jié)合的方法來(lái)解決這一問(wèn)題。

1.7 激光散斑測(cè)振法

激光散斑振動(dòng)測(cè)量技術(shù)[1-3]是利用激光的高相干性,當(dāng)激光照射到物體粗糙光學(xué)表面時(shí)將產(chǎn)生散斑場(chǎng),該散斑場(chǎng)是被測(cè)物體表面信息的載體,記錄下該散斑場(chǎng)并利用數(shù)字圖像處理技術(shù),就能以干涉條紋的形式得出被測(cè)信息的等高線,通過(guò)條紋判斷便能得出振動(dòng)物體的位移。

該方法一般采用多幀干涉圖取平均的方法來(lái)減少環(huán)境擾動(dòng)的影響,但并不能從根本上解決擾動(dòng)問(wèn)題。散斑干涉法適用于對(duì)頻率已知的振動(dòng)信號(hào)進(jìn)行測(cè)量,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)物體振動(dòng)特性的分析,該方法的不利之處是精度和測(cè)量應(yīng)用范圍有限。

2 激光振動(dòng)測(cè)量的展望

激光振動(dòng)測(cè)量技術(shù)發(fā)展前景非常廣闊,對(duì)于激光振動(dòng)測(cè)量技術(shù)的研究工作也是研究人員為之做出不懈努力的工作方向。關(guān)于激光振動(dòng)測(cè)量的展望有如下幾個(gè)方面:

2.1 改善測(cè)量環(huán)境

隨著我國(guó)科技水平的不斷發(fā)展與提高,人類對(duì)于振動(dòng)測(cè)量精度的需求已經(jīng)達(dá)到了納米量級(jí)。目前的分辨率已經(jīng)不能實(shí)現(xiàn)人們對(duì)于某些研究領(lǐng)域項(xiàng)目的精度要求,對(duì)于納米精度目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)是人類在科研領(lǐng)域的新突破。環(huán)境是影響系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)納米精度的一方面問(wèn)題,像空氣溫濕度的變化、環(huán)境的振動(dòng)和聲學(xué)擾動(dòng)等都會(huì)影響測(cè)量精度。因此,可以采用隔離措施和建立確保穩(wěn)定環(huán)境溫度的恒溫室的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)納米測(cè)量精度。

2.2 結(jié)合多技術(shù)于測(cè)量

現(xiàn)代的激光振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)廣泛采用的是光、機(jī)、電與計(jì)算機(jī)技術(shù)相結(jié)合的方式來(lái)進(jìn)行高精度、實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)量,大系統(tǒng)的概念、模糊理論、人機(jī)工程學(xué)的概念、自適應(yīng)原則、調(diào)頻技術(shù)、調(diào)制技術(shù)、反饋原理這一系列相關(guān)理論都廣泛的應(yīng)用在現(xiàn)代測(cè)量?jī)x器的設(shè)計(jì)中,促使測(cè)量與控制技術(shù)成為一個(gè)完整的有機(jī)整體。鑒于以上廣博知識(shí),更需要多知識(shí)、高技術(shù)人才團(tuán)結(jié)、協(xié)作完成由知識(shí)理論到儀器設(shè)計(jì)的實(shí)現(xiàn)。

2.3 進(jìn)行科研創(chuàng)新

新的測(cè)量原理和方法是指導(dǎo)創(chuàng)新研究成果的理論依據(jù),傳統(tǒng)的振動(dòng)測(cè)量方法已經(jīng)不適用于納米級(jí)振動(dòng)測(cè)量的研究,要解決納米級(jí)振動(dòng)測(cè)量需要尋求新的測(cè)量原理和方法。將微觀物理和量子物理的最新研究成果應(yīng)用于測(cè)量系統(tǒng)中以及對(duì)現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行創(chuàng)新性應(yīng)用是可行的。

2.4 多領(lǐng)域應(yīng)用

隨著科技的發(fā)展以及性價(jià)比高、質(zhì)量?jī)?yōu)良的激光振動(dòng)測(cè)量?jī)x問(wèn)世,激光振動(dòng)測(cè)量技術(shù)不僅可以應(yīng)用于機(jī)械制造的檢測(cè)中,還可以應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)、材料檢測(cè)、航空航天等領(lǐng)域。

3 結(jié)束語(yǔ)

當(dāng)今社會(huì)激光振動(dòng)測(cè)量技術(shù)與人類的生產(chǎn)、生活是息息相關(guān)的,此項(xiàng)技術(shù)促使人類的生產(chǎn)、生活質(zhì)量向著更好、更完善的方向發(fā)展。隨著激光振動(dòng)測(cè)量方法的成熟與完善,高精度、高效率、低成本的測(cè)量方案必將實(shí)現(xiàn)并走向成熟。

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篇5

關(guān)鍵詞：低溫真空低溫光學(xué)實(shí)驗(yàn)裝置有限元ZYGO干涉儀梯形支撐

1引言

隨著空間技術(shù)和軍事技術(shù)的發(fā)展需要，探測(cè)儀器的分辨率要求越來(lái)越高。在深冷的條件下，當(dāng)需要探測(cè)的目標(biāo)信號(hào)十分虛弱時(shí)，探測(cè)儀器的背景輻射主要來(lái)自儀器本身的光學(xué)系統(tǒng)和支撐結(jié)構(gòu)，探測(cè)儀器靈敏度嚴(yán)重受到系統(tǒng)本身輻射的影響，為減少這一熱噪聲，冷卻光學(xué)系統(tǒng)是必需采用的方法。只有把光學(xué)系統(tǒng)冷卻及其相關(guān)部件冷卻到一定程度，才能有效地減少背景光子的通量，發(fā)揮背景極限探測(cè)器的作用，大大提高探測(cè)器靈敏度。在低溫狀態(tài)下工作的光學(xué)系統(tǒng)需要解決一系列問(wèn)題，這些問(wèn)題涉及材料特性、光學(xué)元件單元及系統(tǒng)整體性能變化、光學(xué)元件變形、低溫污染等等，這就形成了一門新興學(xué)科——低溫光學(xué)。

自上世紀(jì)七十年代開(kāi)始，美國(guó)首先對(duì)低溫光學(xué)技術(shù)進(jìn)行研究，最初主要用于各種觀察、測(cè)量系統(tǒng)，例如低溫紅外望遠(yuǎn)鏡、空載干涉儀器等。從機(jī)載、球載到星載，大多數(shù)系統(tǒng)都成功有效地完成了對(duì)外空的各種探測(cè)任務(wù)。歐洲一些國(guó)家也對(duì)低溫光學(xué)系統(tǒng)的觀察儀器進(jìn)行了研究。國(guó)內(nèi)起步于上世紀(jì)八十年代末，由于國(guó)內(nèi)航天及其國(guó)防事業(yè)的發(fā)展要求有高靈敏度的探測(cè)器，而這些儀器將不可避免地用到低溫光學(xué)系統(tǒng)。

我國(guó)的未來(lái)光學(xué)遙感系統(tǒng)采用了十幾個(gè)光學(xué)元件，這些系統(tǒng)要求冷卻到150K，并且對(duì)光學(xué)元件的控溫范圍要求非常嚴(yán)格，因此就需要研制一套低溫真空實(shí)驗(yàn)裝置對(duì)相關(guān)的光學(xué)元件進(jìn)行低溫實(shí)驗(yàn)。

2系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)裝置的建立

該光學(xué)系統(tǒng)的最主要部件之一是動(dòng)鏡裝置部分?；诜瓷溏R的溫度要冷卻到150K并對(duì)反射鏡的變形進(jìn)行研究的目的，就需要建立一套高真空和低溫應(yīng)用的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，該系統(tǒng)還要滿足進(jìn)行其它光學(xué)元件的低溫實(shí)驗(yàn)需要。系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)裝置由真空機(jī)組、低溫真空腔體、防振系統(tǒng)、測(cè)量裝置等主要部分組成。

2.1低溫真空腔體設(shè)計(jì)

低溫真空光學(xué)實(shí)驗(yàn)裝置系統(tǒng)示意圖如圖1所示，1-機(jī)械泵2-預(yù)閥3-分子泵4-高閥5-銅帶6-低溫真空腔7-直線電機(jī)8-電源9-被測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)10-ZYGO干涉儀11-光學(xué)窗口12-監(jiān)控計(jì)算機(jī)13-溫控電路14-鉑電阻15-電熱器16-液氮箱17-活性炭18-氮?dú)?9液氮20低閥。低溫真空腔體是實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的核心部分，其示意圖見(jiàn)如圖2，1—抽氣管2-液氮桶3-上腔體4-銅帶5-引線出口6-支撐平臺(tái)7-下腔體8-電機(jī)支撐9-梯形支撐10-光學(xué)窗口11-O形圈12-動(dòng)鏡支撐框架13-O形圈14-活性炭15-出氣管16-進(jìn)液管。腔體總高461mm，外殼直徑284mm。內(nèi)有圓柱形液氮容器，可以儲(chǔ)存液體約4升。其中的光學(xué)元件支撐框架是專門為動(dòng)鏡設(shè)計(jì)的，其高度177mm。整個(gè)腔體可以測(cè)試直徑小于250mm,高度小于200mm的各類反射鏡和光學(xué)元件。

液氮桶下面用銅帶接光學(xué)元件裝置，當(dāng)液氮桶灌注液氮后，冷量通過(guò)銅帶傳導(dǎo)給光學(xué)元件裝置。下腔體的石英玻璃光學(xué)窗口直徑為64mm.光學(xué)元件支撐結(jié)構(gòu)由支撐平臺(tái)和固定夾板組成。用固定夾板是為了防止光學(xué)元件框架移動(dòng)，并保證光線垂直射到動(dòng)鏡表面上。由于動(dòng)鏡需要電機(jī)驅(qū)動(dòng)，而電機(jī)的發(fā)熱量為3-5W，而這部分熱量輻射對(duì)動(dòng)鏡有很大影響，因此就用導(dǎo)熱率較高的紫銅支撐把一部分熱量盡可能的傳遞給系統(tǒng)外部。由于光學(xué)元件裝置部分需要冷卻因此就需要盡量避免它與外界和腔體傳遞熱量，因此就考慮用梯形支撐，由于梯形支撐壁很薄，就起到了很好的隔熱作用。

2.2真空抽氣系統(tǒng)和活性炭處理

真空抽氣系統(tǒng)由機(jī)械泵和分子泵組成。由于ZYGO干涉儀器對(duì)震動(dòng)非常敏感，在光學(xué)測(cè)試的同時(shí)，關(guān)掉機(jī)械泵和分子泵。在關(guān)掉機(jī)械泵和分子泵的期間，還要維持真空腔體內(nèi)的真空，故考慮在腔體內(nèi)加活性炭以維持腔體內(nèi)的真空度。為了去處活性炭中的水汽和其它氣體，需要對(duì)其進(jìn)行烘烤預(yù)處理?；钚蕴吭诩庸さ臅r(shí)候已經(jīng)固定于上組件中，所以把整個(gè)上組件放在DZF-6210真空干燥箱中，在溫度為100°C，烘烤約48小時(shí)使得真空度穩(wěn)定在0.1Pa，然后再做真空低溫實(shí)驗(yàn)。

2.3ZYGO激光平面干涉儀器

非平面的光學(xué)元件可以用He-Ne儀器進(jìn)行光學(xué)測(cè)量，而平面型光學(xué)元件只能用ZYGO干涉儀如圖3進(jìn)行測(cè)量，由于ZYGO干涉儀器對(duì)震動(dòng)非常敏感，因此就需要防震措施。如圖3為ZYGO激光平面干涉儀及其防震裝置。

圖1低溫真空光學(xué)實(shí)驗(yàn)裝置系統(tǒng)示意圖

圖2低溫真空腔體結(jié)構(gòu)示意簡(jiǎn)圖

3關(guān)鍵部件的分析與設(shè)計(jì)

3.1光學(xué)窗口的有限分析

干涉測(cè)量的光線要通過(guò)窗口，所以就要考慮窗口的厚度對(duì)測(cè)量誤差的影響，應(yīng)盡可能使光學(xué)窗口厚度最小，同時(shí)還要能承受外部一個(gè)大氣壓的作用。在外部一個(gè)大氣壓，內(nèi)部幾乎為真空的條件下，綜合考慮窗口折射帶來(lái)誤差的影響和其強(qiáng)度的大小，要求石英玻璃窗口的最大變形小于一個(gè)波長(zhǎng)λ（λ=0.53μm）。

通過(guò)ANSYS軟件建立動(dòng)鏡的有限元模型，并施加邊界條件，改變動(dòng)鏡的厚度，進(jìn)行變厚度有限元分析。如圖4-圖6是其中比較有代表性的三個(gè)分析結(jié)果。從有限元分析結(jié)果可以得到不同厚度玻璃窗口最大變形比較。光學(xué)窗口厚8mm時(shí)其最大變形0.989μm遠(yuǎn)超過(guò)一個(gè)波長(zhǎng)，當(dāng)其厚度從10mm變到12mm,起最大變形都小于一個(gè)波長(zhǎng)，但是變化值并不大。窗口厚度變大，其折射帶來(lái)的誤差就大，為了保證其強(qiáng)度，綜合這兩個(gè)因素選擇10mm厚，徑厚比為6.4∶1的玻璃窗口。

3.2梯形支撐的設(shè)計(jì)

梯形支撐是連接真空腔體和支撐平臺(tái)的關(guān)鍵部件，如圖7為其示意圖,圖中為熱端溫度，為冷端溫度。它一方面要求滿足盡量減少導(dǎo)熱，起到“絕熱”的作用，另一方面又要求其強(qiáng)度能滿足實(shí)驗(yàn)的要求。

圖7梯形支撐模型示意圖

根據(jù)[1]知道，梯形支撐的熱傳導(dǎo)量為：

（1）

式中：——從支撐熱端溫度到冷端溫度之間支撐材料的平均熱導(dǎo)率；其表達(dá)式為：

（2）

——支撐的橫截面積；

L——支撐的高度。

考慮到起其強(qiáng)度[5]，有：

（3）

式中：——作用于構(gòu)件的設(shè)計(jì)載荷；

——安全系數(shù)；

——支撐材料的屈服強(qiáng)度。

由公式（1）、（2）和（3）可得：

（4）

由公式4可以看出傳熱量與材料屈服強(qiáng)度與材料導(dǎo)熱系數(shù)之比成反比。欲使傳熱量越小，就應(yīng)該選擇越大的材料，即材料的屈服強(qiáng)度盡量大，材料的導(dǎo)熱系數(shù)盡量小。由文獻(xiàn)[2]和[3]并且考慮到加工成本經(jīng)濟(jì)性，選擇不銹鋼作為梯形支撐的材料。并計(jì)算選取梯形支撐的壁厚1mm。參閱金屬材料數(shù)據(jù)庫(kù)可得到不銹鋼的低溫導(dǎo)熱系數(shù)，對(duì)溫度區(qū)間20K∽300K進(jìn)行擬合可以得到不銹鋼的導(dǎo)熱系數(shù)擬合公式如圖8所示。即

（5）

圖8不銹鋼導(dǎo)熱系數(shù)擬合

在設(shè)計(jì)載荷為500N,安全系數(shù)取1.5,不銹鋼的屈服強(qiáng)度為210MPa,支撐高度為0.046m,高溫端為300K,低溫端取150K。由公式（4）計(jì)算得漏熱量為0.042W,可以忽略不計(jì)。

4小結(jié)

現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展對(duì)觀測(cè)和成像設(shè)備的工作波段和空間分辨率都有很高的要求，低溫真空技術(shù)越來(lái)越受到關(guān)注。本文研究了小型低溫光學(xué)實(shí)驗(yàn)裝置的相關(guān)技術(shù)。重點(diǎn)討論了真空低溫腔的結(jié)構(gòu)、光學(xué)窗口影響及其有限元分析和梯形支撐的設(shè)計(jì)，并給出了實(shí)驗(yàn)裝置的系統(tǒng)示意圖，對(duì)相關(guān)技術(shù)進(jìn)行了探討，為近一步的低溫光學(xué)研究打下了基礎(chǔ)，并在以后的工作中不斷完善。

參考文獻(xiàn)

[1]楊世銘陶文銓《傳熱學(xué)》（第三版）高等教育出版社1998

[2]馬慶芳芳榮生項(xiàng)立成郭舜《實(shí)用熱物理性質(zhì)手冊(cè)》中國(guó)農(nóng)業(yè)出版社1986

[3]宋鍵朗楊?yuàn)^為袁文彬等《材料手冊(cè)——金屬》上海航天局第八零七研究所1992

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關(guān)鍵詞：氣體閃爍體 光學(xué)方法 能譜測(cè)量 Geant4

中圖分類號(hào)：TL816 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A 文章編號(hào)：1674-098X（2017）04（a）-0100-04

Abstract：The optical method for measuring the energy spectrum of charged particle beam is a kind of measurement method based on the acquisition luminous image of the charged particles in the gaseous scintillation. It has many advantages such as direct-viewing， high energy resolution， suit to various charged particle， wide range and easy to adjust. In this paper， the basic principles， key techniques and main processes involved in measuring the energy spectrum of charged particles by optical method are briefly introduced.

Key Words：Gaseous scintillator；Optical method；Energy spectrum measurement；Geant4

為了解決現(xiàn)有的帶電粒子束能量測(cè)量方法及裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜、使用時(shí)受輻射場(chǎng)強(qiáng)度限制等技術(shù)問(wèn)題[1]，測(cè)量帶電粒子能譜的光學(xué)方法將徑跡探測(cè)器直觀的、能應(yīng)用于脈沖輻射場(chǎng)的特點(diǎn)與現(xiàn)代成像組件實(shí)時(shí)方便的圖像信息采集和處理的優(yōu)勢(shì)結(jié)合起來(lái)，發(fā)展了一種新的基于閃爍圖像直接讀出的探測(cè)器，并用于粒子能量測(cè)量。

帶電粒子束入射到氣體閃爍體中，粒子沿徑跡沉積能量并激發(fā)氣體閃爍體發(fā)光，采用CCD相機(jī)獲取氣體閃爍發(fā)光圖像，入射帶電粒子能量與收集到的閃爍發(fā)光圖像一一對(duì)應(yīng)，根據(jù)圖像反演可求解得到入射粒子束的能譜。這種成像測(cè)量的方法本質(zhì)是依據(jù)帶電粒子束徑跡長(zhǎng)度確定能量，粒子徑跡分布只取決于氣體閃爍體和粒子本身，而不受源脈沖狀態(tài)的限制。光學(xué)成像的測(cè)量方法既可應(yīng)用于脈沖輻射場(chǎng)，又可實(shí)現(xiàn)對(duì)強(qiáng)流穩(wěn)態(tài)輻射場(chǎng)帶電粒子束能譜的測(cè)量。

該文概述了氣體閃爍體的發(fā)光機(jī)理、閃爍圖像光學(xué)方法測(cè)量原理，并對(duì)如何求解帶電粒子能譜的方法進(jìn)行了介紹。

1 氣體閃爍發(fā)光原理

氣體作為閃爍體的發(fā)光材料，具有以下突出優(yōu)點(diǎn)[2]：發(fā)光衰減時(shí)間快、通過(guò)氣壓調(diào)節(jié)便于控制阻止本領(lǐng)、發(fā)光強(qiáng)度與粒子能量沉積在很廣的能量范圍內(nèi)線性很好，閃爍圖像強(qiáng)度能夠準(zhǔn)確反映粒子的能量沉積分布、氣體密度比固體（液體）材料的密度低3～4量級(jí)，同樣能量差的質(zhì)子束的徑跡長(zhǎng)度在氣體中區(qū)分明顯便于實(shí)現(xiàn)精細(xì)的能量分辨。此外，制備簡(jiǎn)單、性能可靠、氣體價(jià)格便宜、使用方便、擴(kuò)展性強(qiáng)，可以做成多種合適的形狀以用于具體需求。

帶電粒子能量通過(guò)2種方式轉(zhuǎn)移到氣體原子：電離和激發(fā)。電離過(guò)程：入射粒子與氣體原子的核外電子之間存在庫(kù)侖力作用，傳遞給電子的能量足以克服原子束縛而成為自由電子，氣體分子分離成為一個(gè)自由電子和一個(gè)正離子。激發(fā)過(guò)程：入射粒子與氣體原子的核外電子之間的庫(kù)侖力作用，傳遞給電子的能量使它從低能級(jí)狀態(tài)躍遷到較高能級(jí)狀態(tài)，激發(fā)態(tài)原子不穩(wěn)定，隨后原子從激發(fā)態(tài)躍遷回到基態(tài)而退激，退激時(shí)釋放出來(lái)的能量以光的形式發(fā)射出來(lái)，釋放出的光子具有特定能量特征。在電離過(guò)程中，產(chǎn)生的自由電子如果具有足夠能量會(huì)產(chǎn)生更多的電子-離子對(duì)或者引起原子激發(fā)。總體過(guò)程可表示為：

R+Ae+A++R'

R+AA*+R'

e+A+A* （1）

其中，R為入射帶電粒子，A為閃爍氣體原子，它電離和激發(fā)產(chǎn)生電子e和離子A+，A*為激發(fā)態(tài)的原子。激發(fā)態(tài)的原子通過(guò)發(fā)出光子釋放能量（輻射過(guò)程），如下：

A*A+hνa （2）

或者轉(zhuǎn)變?yōu)闊幔ǚ禽椛溥^(guò)程）。氣體原子發(fā)出的光hνa具有特定的能量特征，在光譜中表現(xiàn)為線狀譜。

在氣體較稠密狀態(tài)下（n～1019 cm-3），三體碰撞的概率增加而形成激發(fā)態(tài)的分子或二聚物：

A*+2AA2*+A （3）

處于激發(fā)態(tài)的氣體分子的退激是另一N形式，發(fā)出的光子在光譜中表現(xiàn)為連續(xù)譜分布。

A2*2A+hνm （4）

線狀譜hνa和連續(xù)譜hνm構(gòu)成了閃爍光譜的主要成分，一個(gè)典型的氣體閃爍體閃爍發(fā)光的光譜圖如圖1所示。

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【關(guān)鍵詞】激光跟蹤儀 現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量 大型結(jié)構(gòu)件 裝配

1 引言

在航空航天、船舶工業(yè)領(lǐng)域中，飛機(jī)、導(dǎo)彈、衛(wèi)星、火箭、艦艇等大型船器產(chǎn)品，其推進(jìn)、制導(dǎo)、控制等功能、性能要求的實(shí)現(xiàn)，完全依賴于優(yōu)異的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)與要素控制，因此對(duì)船器結(jié)構(gòu)的外形尺寸、結(jié)構(gòu)重量、裝配關(guān)系、配合狀態(tài)、姿態(tài)實(shí)現(xiàn)等提出了較高的要求。同樣在風(fēng)電、水力、汽車領(lǐng)域中，結(jié)構(gòu)件外形尺寸、裝配質(zhì)量決定著其產(chǎn)品的使用性能。一般而言，在功能結(jié)構(gòu)件的研制過(guò)程中，需對(duì)生產(chǎn)制造精度（形狀公差）、現(xiàn)場(chǎng)裝配過(guò)程中的空間位置精度（方向公差、位置公差、跳動(dòng)公差）進(jìn)行嚴(yán)格的測(cè)量、控制、調(diào)整，從而有效保證產(chǎn)品的研制質(zhì)量。

目前，光學(xué)測(cè)量技術(shù)是現(xiàn)場(chǎng)結(jié)構(gòu)參數(shù)測(cè)量應(yīng)用最便捷、最廣泛的方法之一。激光跟蹤儀、經(jīng)緯儀、攝影測(cè)量是光學(xué)測(cè)量技術(shù)中最具有代表性的測(cè)量設(shè)備，因其優(yōu)越的測(cè)量性能、簡(jiǎn)單有效的使用方法得到了廣泛應(yīng)用發(fā)展。其中，激光跟蹤儀是近年來(lái)才逐漸發(fā)展起來(lái)的新型測(cè)量?jī)x器，它集激光干涉測(cè)距技術(shù)、光電檢測(cè)技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計(jì)算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計(jì)算理論等于一體，可對(duì)空間運(yùn)動(dòng)目標(biāo)進(jìn)行跟蹤并實(shí)時(shí)測(cè)量運(yùn)動(dòng)目標(biāo)的空間三維坐標(biāo)，具有安裝快捷、操作簡(jiǎn)便、實(shí)時(shí)掃描測(cè)量、測(cè)量精度及效率高等優(yōu)點(diǎn)[1，2]。目前，LEICA、API、FARO等廠商研制的激光跟蹤儀在精密測(cè)量場(chǎng)合中應(yīng)用最為廣泛。

2 激光跟蹤儀的工作原理

激光跟蹤儀主要由激光跟蹤頭、靶標(biāo)反射球、控制計(jì)算機(jī)和測(cè)量軟件構(gòu)成。激光跟蹤頭是激光跟蹤測(cè)量系統(tǒng)中的重要組成部分，主要功能是隨著靶標(biāo)反射球位置的移動(dòng)，改變測(cè)量光束的方向，使測(cè)量光束始終對(duì)準(zhǔn)靶標(biāo)反射球。激光跟蹤頭內(nèi)部通常設(shè)置有一套激光干涉系統(tǒng)、兩套角度編碼器、電機(jī)以及光電接收器件等。靶標(biāo)反射球按反射類型大致分為平面反射球、實(shí)心球及空心球三種；按外徑尺寸有0.5英寸、0.875英寸、1.5英寸及3英寸等幾種[3，4]。其中直徑1.5英寸的空心球應(yīng)用最為廣泛。

激光跟蹤儀是典型的球坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)，對(duì)空間目標(biāo)點(diǎn)三維坐標(biāo)的測(cè)量是通過(guò)激光跟蹤儀坐標(biāo)原點(diǎn)到目標(biāo)點(diǎn)的徑向長(zhǎng)度和空間方位角（水平角和垂直角）來(lái)確定。如圖1所示，激光跟蹤儀坐標(biāo)原點(diǎn)為O點(diǎn)，被測(cè)空間目標(biāo)點(diǎn)為P點(diǎn)，測(cè)量過(guò)程中激光干涉儀測(cè)量O點(diǎn)到P點(diǎn)的徑向長(zhǎng)度r，兩個(gè)高精度角度編碼器分別測(cè)量O點(diǎn)到P點(diǎn)的水平角α和垂直角β，P點(diǎn)的三維坐標(biāo)（x，y，z）可由α、β和r計(jì)算得到[5]。

3激光跟蹤儀在現(xiàn)場(chǎng)結(jié)構(gòu)參數(shù)測(cè)量中的應(yīng)用

由于高精度和良好的連續(xù)跟蹤、自動(dòng)測(cè)量、斷光續(xù)接等功能，使激光跟蹤儀成為較為理想的大尺寸測(cè)量?jī)x器，廣泛應(yīng)用于航空航天、動(dòng)力、能源、精密制造與裝配領(lǐng)域。

3.1 航空航天領(lǐng)域應(yīng)用

有文獻(xiàn)[2]從“轉(zhuǎn)站”帶來(lái)的效率低等問(wèn)題考慮，用激光跟蹤儀水平測(cè)量方法，對(duì)飛機(jī)全機(jī)數(shù)據(jù)進(jìn)行了批次性測(cè)量，并通過(guò)數(shù)據(jù)與普通光學(xué)儀器對(duì)比，反映出機(jī)翼安裝情況一致、數(shù)值偏差量不大的結(jié)論。激光跟蹤儀應(yīng)用在某型號(hào)無(wú)人機(jī)外翼安裝角的數(shù)據(jù)測(cè)量上，對(duì)1～8架飛機(jī)外翼安裝角的數(shù)據(jù)進(jìn)行了測(cè)量及分析，得到數(shù)據(jù)結(jié)果偏差趨勢(shì)與結(jié)構(gòu)對(duì)稱性結(jié)論[6]?？湛停ˋirbus）利用API的T3激光跟蹤儀代替全站儀與經(jīng)緯儀，對(duì)飛機(jī)機(jī)身零部件空間坐標(biāo)位置進(jìn)行了精確測(cè)量，提高了機(jī)身結(jié)構(gòu)件的配合質(zhì)量。有文獻(xiàn)[7]對(duì)針對(duì)飛機(jī)水平測(cè)量、三維形貌測(cè)量設(shè)計(jì)出相應(yīng)的測(cè)量方案，對(duì)激光跟蹤系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了詳盡的闡述，并就系統(tǒng)誤差來(lái)源及數(shù)據(jù)處理進(jìn)行了分析和探討。

在航天領(lǐng)域中，利用激光跟蹤儀的動(dòng)態(tài)測(cè)量特性可測(cè)量衛(wèi)星太陽(yáng)電池帆板展開(kāi)運(yùn)動(dòng)、天線展開(kāi)運(yùn)動(dòng)、空間機(jī)器人關(guān)節(jié)臂的運(yùn)動(dòng)姿態(tài)及軌跡的測(cè)量等，根據(jù)測(cè)量數(shù)據(jù)對(duì)運(yùn)動(dòng)特性進(jìn)行計(jì)算與分析，以考核實(shí)際特性與設(shè)計(jì)理論特性的符合程度；也可利用激光跟蹤儀測(cè)量航天器推進(jìn)、姿控、有效載荷儀器設(shè)備安裝精度[8]。

3.2 動(dòng)力、能源領(lǐng)域應(yīng)用

將激光跟蹤測(cè)量技術(shù)應(yīng)用到風(fēng)洞調(diào)試中，既提高了測(cè)量的精度，又加快了調(diào)試速度[9]。對(duì)于曲面變化不規(guī)則的水輪機(jī)大型葉片，利用激光跟蹤儀進(jìn)而精確測(cè)量各個(gè)截面葉片外輪廓、葉片頭部外形、參考脊線、葉片軸線等。除對(duì)結(jié)構(gòu)外形尺寸進(jìn)行檢驗(yàn)之外，利用重構(gòu)出來(lái)的三維模型與提取的相關(guān)技術(shù)參數(shù)可對(duì)風(fēng)機(jī)葉片的動(dòng)力性能、強(qiáng)度等相關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和驗(yàn)證[10，11]。

3.3 精密制造、裝配領(lǐng)域應(yīng)用

采用激光跟蹤儀，對(duì)結(jié)構(gòu)復(fù)雜、體積大、定位點(diǎn)多的工裝進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)尺寸測(cè)量，為產(chǎn)品研制質(zhì)量提供可靠保證[12]。將激光跟蹤測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用在大型機(jī)床的檢測(cè)方法中，能精確、高效地對(duì)機(jī)床導(dǎo)軌直線精度、磨齒機(jī)伺服軸重復(fù)定位精度、機(jī)床主軸的回轉(zhuǎn)精度及跳動(dòng)等參數(shù)進(jìn)行檢測(cè)，有效提高了機(jī)床生產(chǎn)制造精度，并有力保證了設(shè)備維護(hù)、安裝使用性能[13，14]。在對(duì)材質(zhì)為玻璃纖維增強(qiáng)環(huán)氧樹(shù)脂、外形尺寸為3×4×40m的風(fēng)力發(fā)電機(jī)的扇葉進(jìn)行測(cè)量時(shí)，利用激光跟蹤儀檢測(cè)滿足了風(fēng)機(jī)葉片平整度亞毫米級(jí)精度的要求[15]。利用激光跟蹤儀對(duì)天基X射線望遠(yuǎn)鏡坐標(biāo)系與星敏感器的安裝進(jìn)行測(cè)量，有效提高了星敏感器的工作精度[16]。

4 激光跟蹤測(cè)試技術(shù)發(fā)展方向

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【關(guān)鍵詞】礦山測(cè)量；測(cè)量技術(shù)；發(fā)展

引 言

近年來(lái)，隨著電子技術(shù)和激光技術(shù)的發(fā)展，光電結(jié)合型的測(cè)繪儀器對(duì)傳統(tǒng)的測(cè)繪儀器方法產(chǎn)生了深厚的影響。在礦山井下測(cè)量工作中采用先進(jìn)的現(xiàn)代化的技術(shù)，結(jié)合測(cè)量的實(shí)際工作和具體特點(diǎn)，從而更有效的保障了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和定位的精準(zhǔn)性。

一、礦山測(cè)量新儀器、新技術(shù)的應(yīng)用

（一）GPS技術(shù)在測(cè)量中的應(yīng)用。GPS是借助分布在空中的多個(gè)GPS衛(wèi)星確定地面點(diǎn)位置的一種新型定位系統(tǒng)，具有全天候、高精度、定位速度快、布點(diǎn)靈光、操作方便等特點(diǎn)。在礦山測(cè)量中，GPS取代了傳統(tǒng)的地面測(cè)繪工作，是一種高精度、現(xiàn)代化的測(cè)量手段，在礦山井下測(cè)量中，利用GPS地面定點(diǎn)功能，以此為控制點(diǎn)，進(jìn)行聯(lián)系測(cè)量，有效的保障了井下生產(chǎn)的安全性。

（二）全站儀在礦山井下測(cè)量中的應(yīng)用。全站儀是目前應(yīng)用前景最為廣闊的測(cè)繪儀器，是電子技術(shù)與光學(xué)技術(shù)發(fā)展結(jié)合的光點(diǎn)測(cè)量?jī)x器，也是集光、機(jī)、電為一體的高性能儀器，是集測(cè)量所需數(shù)據(jù)為一體的測(cè)量?jī)x器系統(tǒng)。全站儀是一種可以通過(guò)鍵盤可以輸入操作指令、數(shù)據(jù)和設(shè)置參數(shù)進(jìn)行角度測(cè)量、距離測(cè)量和數(shù)據(jù)處理的測(cè)繪儀器。具有方便、快捷、實(shí)用等功能。

慣性測(cè)量系統(tǒng)。慣性測(cè)量系統(tǒng)在測(cè)繪領(lǐng)域主要應(yīng)用目標(biāo)包括：1.控制測(cè)量，對(duì)已有控制點(diǎn)的鍵合、加密、航測(cè)控制等。2.管線監(jiān)測(cè)、定位、地殼形變、地表沉陷觀測(cè)。3.井下定位，各種工程和建筑測(cè)量。4.地震、重力測(cè)量。5.井筒和罐道梁的垂直性檢測(cè)等。慣性測(cè)量系統(tǒng)能夠全天候工作，不受大氣影響，受自然條件影響小，減少了井下礦山測(cè)量中存在的誤差，保障了井下礦山測(cè)量的準(zhǔn)確性。

其它測(cè)量新儀器新技術(shù)在礦山測(cè)量中的應(yīng)用。除了上述的礦山測(cè)量新儀器和新技術(shù)以外，其他的現(xiàn)代測(cè)繪儀器如：激光指向儀、遙感技術(shù)等，在礦上測(cè)量中都得到了應(yīng)用，隨著現(xiàn)代化技術(shù)的發(fā)展，新的儀器和新的技術(shù)也將會(huì)在礦山測(cè)量中得到應(yīng)用，更好的服務(wù)于礦山資源開(kāi)采。

二、礦井測(cè)量中的儀器使用和推廣

測(cè)量?jī)x器新儀器和新技術(shù)的推廣和應(yīng)用同樣也需要測(cè)量人員在使用方法和工作原理上不斷認(rèn)識(shí)和全面的了解，盡可能的避免儀器使用出現(xiàn)數(shù)據(jù)顯示不正常、測(cè)量誤差等錯(cuò)誤。在全站儀的投入使用階段，在礦井測(cè)量的過(guò)程中也出現(xiàn)了一些問(wèn)題，如：井上進(jìn)行隱蔽點(diǎn)測(cè)量時(shí)，棱鏡與支桿不和諧；測(cè)點(diǎn)之間距離長(zhǎng)，光線暗；儀器井下采集的測(cè)點(diǎn)數(shù)據(jù)，在井上與計(jì)算機(jī)相連，相互配套的成圖軟件不穩(wěn)定等問(wèn)題，都會(huì)對(duì)新儀器和新技術(shù)的使用和推廣造成一定的影響，而伴隨著技術(shù)的改革和發(fā)展，測(cè)量人員專業(yè)水平的提高，這些問(wèn)題都得到了顯著的改善。針對(duì)儀器推廣使用過(guò)程中存在的一些問(wèn)題也采取了相應(yīng)的解決措施。如：當(dāng)棱鏡與支桿不和諧時(shí)，自制可伸縮自由支桿，可以自由變更棱鏡的高度；變更測(cè)量點(diǎn)時(shí)距離長(zhǎng)、光線暗，使聲音和手語(yǔ)不能見(jiàn)效時(shí)，測(cè)量人員便按照預(yù)先制定的燈語(yǔ)進(jìn)行聯(lián)系和調(diào)度；當(dāng)井下數(shù)據(jù)采集完畢后，在辦公室進(jìn)行結(jié)果計(jì)算時(shí)，把儀器和計(jì)算機(jī)相連，利用MAPGIS現(xiàn)有功能，人性的交互式界面，實(shí)現(xiàn)實(shí)測(cè)成圖。

在礦井測(cè)量中使用和推廣新儀器和新技術(shù)能夠有效的提高測(cè)量的精準(zhǔn)度，并且提高作業(yè)效率，在一定程度上為礦山井下作業(yè)的安全性和效益性提供了有力的保障。

三、結(jié)束語(yǔ)

隨著技術(shù)的發(fā)展和進(jìn)步，對(duì)測(cè)量?jī)x器的要求越來(lái)越高，操作方便、功能強(qiáng)、精度高、速度快等特點(diǎn)成為了測(cè)量?jī)x器發(fā)展的主要趨勢(shì)。在科技的帶動(dòng)和技術(shù)人員不斷的探索過(guò)程中，未來(lái)儀器也開(kāi)始逐步的向自動(dòng)化、智能化、人性化方面發(fā)展，為礦山井下測(cè)量提供更加精度的數(shù)據(jù)，進(jìn)一步的保障礦山作業(yè)的安全、高效、穩(wěn)定。

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篇9

關(guān)鍵詞： 衍射光柵；干涉；位移測(cè)量；Lighttools軟件

中圖分類號(hào)：TN16 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A

Design of 2-D Laser Interferometer System with Diffraction Grating

LI Shuai

(School of Instrument Science and Opto-electronics Engineering, Hefei University of Technology, Hefei Anhui 230009, China)

Abstract: 2-D nano-displacement measurement system is developed based on diffraction grating. This system consists of optical structure and electronic subdivision circuit. The measurement principle of the system is proposed. And by the simulation, the change rule is found, theoretical model for the follow-up structural optimization and error compensation is provided.

Keywords: diffraction grating; Interference; displacement measurement; lighttools software

引 言

衍射光柵作為計(jì)量光柵的一種，在精密測(cè)量、超精密加工和納米技術(shù)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。與其它納米測(cè)量方法相比，如STM法、SPM法、電容電感測(cè)微法和激光干涉儀法等，光柵納米測(cè)量方法具有以下優(yōu)勢(shì)：（1）高精度，低成本，由于精密的光刻技術(shù)和電子細(xì)分技術(shù)，以及莫爾條紋所具有的對(duì)局部誤差的消除作用，光柵傳感器可以得到很高的測(cè)量精度；（2）同時(shí)具備大量程、高分辨率的特點(diǎn)，尤其在大量程方面，光柵傳感器的測(cè)量精度僅次于激光測(cè)量，而成本卻比其低得多；（3）較強(qiáng)的抗干擾能力，其對(duì)環(huán)境的適應(yīng)性比激光干涉儀更強(qiáng)。因此，研制基于衍射光柵的二維納米測(cè)量系統(tǒng)具有重要的現(xiàn)實(shí)意義。

1 系統(tǒng)組成

二維光柵納米位移測(cè)量系統(tǒng)主要是基于光柵衍射與相干光干涉原理組成的幾何光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，整個(gè)系統(tǒng)由幾何光路部分和信號(hào)處理部分組成，其構(gòu)如圖1所示。由半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光束經(jīng)過(guò)起偏器P1垂直入射到二維光柵表面，反射的正交衍射光通過(guò)偏振分光光路形成相位相差90°的干涉信號(hào)，然后進(jìn)入光電轉(zhuǎn)換模塊使得光學(xué)信號(hào)轉(zhuǎn)換為正弦和脈沖電信號(hào)，然后由計(jì)數(shù)細(xì)分電路對(duì)信號(hào)進(jìn)行計(jì)數(shù)細(xì)分處理，最后把數(shù)據(jù)處理的果經(jīng)過(guò)誤差補(bǔ)償后進(jìn)行記錄和顯示。

2 光路構(gòu)設(shè)計(jì)

整個(gè)系統(tǒng)的光路構(gòu)如圖2所示，為了提高信號(hào)的輸出頻率，光路采用二次衍射設(shè)計(jì)。

由半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光束經(jīng)過(guò)偏振分光鏡PBS2后分成振動(dòng)方向相互垂直的偏振光的s光和p光。若s光被PBS2反射，經(jīng)過(guò)四分之一波片Q3后變?yōu)閳A偏振光，該圓偏振光經(jīng)過(guò)反射鏡R反射后再次通過(guò)四分之一波片Q3，該光束變?yōu)閜光直接通過(guò)PBS2，經(jīng)過(guò)Q4后變?yōu)閳A偏振光在光柵表面衍射，適當(dāng)調(diào)整光柵與讀數(shù)頭之間的距離，-1級(jí)衍射光垂直入射到平面反射鏡M2上后沿原路返回，通過(guò)光柵表面再次衍射后，+1級(jí)衍射光沿原路進(jìn)入PBS2，此時(shí)經(jīng)過(guò)Q4的再次旋光變?yōu)閟光，s光被PBS2的偏振分光面全部反射后，經(jīng)Q2和M1返回后變?yōu)閜光，該光束完全通過(guò)PBS2偏振面出射，進(jìn)入偏振光檢測(cè)部分。同理對(duì)于激光器出射光經(jīng)PBS2透射的p光經(jīng)過(guò)Q2和M1返為s光，被PBS2的偏振分光面全部反射，通過(guò)Q4后變?yōu)閳A偏振光被衍射光柵表面衍射，+1級(jí)衍射光被M2反射后再次衍射，再次衍射后的-1級(jí)衍射光沿原路通過(guò)Q4進(jìn)入PBS2，變?yōu)镻光全部通過(guò)PBS2的偏振分光面，經(jīng)過(guò)反射鏡R和四分之波片Q3后，變?yōu)閟光再次進(jìn)入PBS2，經(jīng)過(guò)PBS2的偏振分光面后被全部反射進(jìn)入偏振光檢測(cè)部分。

3 位移測(cè)量原理

二維衍射光柵系統(tǒng)可以同時(shí)對(duì)兩個(gè)方向上的位移進(jìn)行測(cè)量，其基本原理是利用衍射光柵的多普勒效應(yīng)。當(dāng)LD激光器發(fā)出一束頻率為f0，波長(zhǎng)為λ的光垂直入射到光柵表面，由衍射光柵的性質(zhì)可知，光柵在某一方向上運(yùn)動(dòng)時(shí)，在此方向上形成的衍射光束會(huì)發(fā)生一定的相移。如圖3所示，根據(jù)多普勒效應(yīng)，X方向上的±1級(jí)衍射光的頻率為

式中c為光速，v為光柵在X方向上的運(yùn)動(dòng)速度，θ為衍射光束的衍射角。若采用圖2的二次衍射光路設(shè)計(jì)，則由M2反射出的光入射到光柵表面又發(fā)生一次多普勒頻移，此時(shí)，X方向的±1級(jí)衍射光的頻率為

因此，光柵在平面內(nèi)移動(dòng)時(shí)，X方向上的光電探測(cè)器所接收的干涉條紋信號(hào)可以表示為

由式（7）、（8）可以看出，當(dāng)光柵移動(dòng)四分之一柵距時(shí)，光柵偏振干涉輸出信號(hào)明暗變換一次，對(duì)應(yīng)輸出光電轉(zhuǎn)換信號(hào)一個(gè)周期（2π）。只要把四象限光電探測(cè)器置于適當(dāng)?shù)奈恢?，使光電陣列接收到四個(gè)相差π/2的光強(qiáng)信號(hào)，通過(guò)對(duì)這四個(gè)信號(hào)的計(jì)數(shù)與細(xì)分處理即可計(jì)算出實(shí)際的位移量。

4 光學(xué)系統(tǒng)仿真

在二維衍射光柵測(cè)量系統(tǒng)中，光柵的定位誤差是影響系統(tǒng)干涉信號(hào)的主要系統(tǒng)誤差。如圖4所示，光學(xué)鏡頭與光柵之間存在五個(gè)自由度，分別為X方向上的偏擺、Y方向上的轉(zhuǎn)動(dòng)、Z方向上的俯仰、Y方向上的側(cè)移與Z方向上的平移。因此利用Lighttools軟件進(jìn)行仿真，以分析光柵在五個(gè)自由度上對(duì)干涉信號(hào)的影響。

圖5即為采用Lighttools軟件依照?qǐng)D2所完成的3D模型。

該3D模型設(shè)定光柵采用1,200線/mm的二維平面光柵作為標(biāo)尺，光束波長(zhǎng)為635nm，探測(cè)器接受面為1×1mm，根據(jù)圖4以光柵分別偏擺俯仰和轉(zhuǎn)動(dòng)0.05°以及在Y和Z軸向上各平移5個(gè)光柵常數(shù)來(lái)測(cè)定系統(tǒng)干涉光點(diǎn)落在光電探測(cè)器上的位置狀況，得出數(shù)據(jù)如表1所示。

由圖表可以看出，俯仰和偏擺對(duì)系統(tǒng)干涉信號(hào)的影響較大，在進(jìn)行實(shí)際對(duì)位安裝時(shí)應(yīng)注意X軸向偏擺與Z軸向俯仰對(duì)干涉信號(hào)的影響，以產(chǎn)生高質(zhì)量的干涉信號(hào)。

5 論

二維光柵納米位移測(cè)量系統(tǒng)是一種高精度，大量程且成本較低的精密測(cè)量系統(tǒng)。其精度主要取決于系統(tǒng)干涉信號(hào)的質(zhì)量，上文采用Lighttools軟件設(shè)計(jì)的光路模型分析了光柵在五個(gè)自由度上對(duì)干涉信號(hào)的影響，發(fā)現(xiàn)俯仰和偏擺對(duì)系統(tǒng)干涉信號(hào)影響較大，為后續(xù)的光路校準(zhǔn)優(yōu)化和誤差補(bǔ)償提供了理論依據(jù)。

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篇10

我們本來(lái)每個(gè)人要做共八個(gè)實(shí)驗(yàn)，后來(lái)由于時(shí)間關(guān)系做了七個(gè)實(shí)驗(yàn)，我做的七個(gè)實(shí)驗(yàn)分別是：光纖通訊，光學(xué)多道與氫氘，法拉第效應(yīng)，液晶物性，非線性電路與混沌，高溫超導(dǎo)，塞滿效應(yīng)，下面我對(duì)每個(gè)實(shí)驗(yàn)及心得體會(huì)做些簡(jiǎn)單介紹：

一、光纖通訊：本實(shí)驗(yàn)主要是通過(guò)對(duì)光纖的一些特性的探究（包括對(duì)光纖耦合效率的測(cè)量，光纖數(shù)值孔徑的測(cè)量以及對(duì)塑料光纖光纖損耗的測(cè)量與計(jì)算），了解光纖光學(xué)的基礎(chǔ)知識(shí)。探究相位調(diào)制型溫度傳感器的干涉條紋隨溫度的變化的移動(dòng)情況，模擬語(yǔ)電話光通信，

了解光纖語(yǔ)音通信的基本原理和系統(tǒng)構(gòu)成。老師講的也很清楚，本試驗(yàn)在操作上并不是很困難，很易于實(shí)現(xiàn)，易于成功。

二、光學(xué)多道與氫氘：本實(shí)驗(yàn)利用光學(xué)多道分析儀，從巴爾末公式出發(fā)研究氫氘光譜，了解其譜線特點(diǎn)， 并學(xué)習(xí)光學(xué)多道儀的使用方法及基本的光譜學(xué)技術(shù)通過(guò)此次實(shí)驗(yàn)得出了氫原子和氘原子在巴爾末系下的光譜波長(zhǎng)，并利用測(cè)得的波長(zhǎng)值計(jì)算出了氫氘的里德伯常量，得到了氫氘光譜的各光譜項(xiàng)及巴耳末系躍遷能級(jí)圖，計(jì)算得出了質(zhì)子和電子的質(zhì)量之比。個(gè)人覺(jué)得這個(gè)實(shí)驗(yàn)有點(diǎn)太智能化，建議鍛煉操作的部分能有所加強(qiáng)。對(duì)于一些儀器的原理在實(shí)驗(yàn)中沒(méi)有體現(xiàn)。如果有所體現(xiàn)會(huì)比較容易使學(xué)生深入理解。數(shù)據(jù)處理有些麻煩。不過(guò)這也正是好好提高自己的分析數(shù)據(jù)、處理數(shù)據(jù)能力的好時(shí)候、更是理論聯(lián)系實(shí)際的橋梁。

三、法拉第效應(yīng)：本實(shí)驗(yàn)中，我們首先對(duì)磁場(chǎng)進(jìn)行了均勻性測(cè)定，進(jìn)一步測(cè)量了磁場(chǎng)和勵(lì)磁電流之間的關(guān)系，利用磁場(chǎng)和勵(lì)磁電流之間的線性關(guān)系，用電流表征磁場(chǎng)的大小；再利用磁光調(diào)制器和示波器，采用倍頻法找出ZF6、MR3－2樣品在不同強(qiáng)度的旋光角θ和磁場(chǎng)強(qiáng)度B的關(guān)系，并計(jì)算費(fèi)爾德常數(shù)；最后利用MR3樣品和石英晶體區(qū)分自然旋光和磁致旋光，驗(yàn)證磁致旋光的非互易性。

四﹑液晶物性：本實(shí)驗(yàn)主要是通過(guò)對(duì)液晶盒的扭曲角，電光響應(yīng)曲線和響應(yīng)時(shí)間的測(cè)量，以及對(duì)液晶光柵的觀察分析，了解液晶在外電場(chǎng)的作用下的變化，以及引起的液晶盒光學(xué)性質(zhì)的變化，并掌握對(duì)液晶電光效應(yīng)測(cè)量的方法。本實(shí)驗(yàn)中我們研究了液晶的基本物理性質(zhì)

和電光效應(yīng)等。發(fā)現(xiàn)液晶的雙折射現(xiàn)象會(huì)對(duì)旋光角的大小產(chǎn)生的影響，在實(shí)驗(yàn)中通過(guò)測(cè)量液晶盒兩面錨泊方向的差值，得到液晶盒扭曲角的大小為125度；測(cè)量了液晶的響應(yīng)時(shí)間。觀察液晶光柵的衍射現(xiàn)象，在“常黑模式”和“常白模式”下分別測(cè)量了液晶升壓和降壓過(guò)程的電光響應(yīng)曲線，求得了閾值電壓、飽和電壓和閾值銳度。并且比較了升壓降壓過(guò)程中閾值銳度的差別。我們一開(kāi)始做的很慢，不過(guò)老師講得很清楚，后來(lái)我們很快就做出來(lái)了，

五、非線性電路與混沌：本實(shí)驗(yàn)通過(guò)測(cè)量非線性電阻的I-U特性曲線，了解非線性電阻特性，，從而搭建出典型的非線性電路—蔡氏振蕩電路，通過(guò)改變其狀態(tài)參數(shù)，觀察到混沌的產(chǎn)生，周期運(yùn)動(dòng)，倍周期與分岔，點(diǎn)吸引子，雙吸引子，環(huán)吸引子，周期窗口的物理圖像，并研究其費(fèi)根鮑姆常數(shù)。最后，實(shí)驗(yàn)將兩個(gè)蔡氏電路通過(guò)一個(gè)單相耦合系統(tǒng)連接并最終研究其混東同步現(xiàn)象。實(shí)驗(yàn)過(guò)程還可以，數(shù)據(jù)處理有點(diǎn)難，后來(lái)慢慢思考，最終還是處理好了，

六、高溫超導(dǎo)：本實(shí)驗(yàn)利用液氮?jiǎng)?chuàng)造低溫環(huán)境，測(cè)量了高溫超導(dǎo)材料樣品的超導(dǎo)轉(zhuǎn)變臨界溫度為90.。88K，并在實(shí)驗(yàn)同時(shí)對(duì)溫差電偶溫度計(jì)以及硅半導(dǎo)體溫度計(jì)進(jìn)行了溫度定標(biāo)，測(cè)得在實(shí)驗(yàn)的溫度范圍內(nèi)，在磁懸浮實(shí)驗(yàn)上，我們分別測(cè)量了無(wú)磁場(chǎng)條件下相變（零場(chǎng)冷）的高溫超導(dǎo)體樣品的以及有磁場(chǎng)條件下相變（場(chǎng)冷）的高溫超導(dǎo)體樣品的磁懸浮力與距離的關(guān)系，認(rèn)為此超導(dǎo)體在強(qiáng)磁場(chǎng)下進(jìn)入了混合態(tài)，而在場(chǎng)冷條件下的實(shí)驗(yàn)證實(shí)了我們的假設(shè)。這次實(shí)驗(yàn)我們所作實(shí)驗(yàn)中最早結(jié)束的一個(gè)實(shí)驗(yàn)，不過(guò)在示波器中調(diào)波形時(shí)花了點(diǎn)時(shí)間，最終還是很快就做完了。

七、塞滿效應(yīng)：這個(gè)實(shí)驗(yàn)是我最后一次做的實(shí)驗(yàn)，也是最晚結(jié)束的一個(gè)實(shí)驗(yàn)，因?yàn)槲覀內(nèi)プ鰧?shí)驗(yàn)的時(shí)候?qū)嶒?yàn)室沒(méi)電了，于是我們等

把電路修好后開(kāi)始做實(shí)驗(yàn)了，于是做到晚上11點(diǎn)才結(jié)束了，本實(shí)驗(yàn)運(yùn)用光柵攝譜儀和阿貝比長(zhǎng)儀，采用攝譜法觀測(cè)Hg譜線的分裂情況，并以此對(duì)外加磁感應(yīng)強(qiáng)度進(jìn)行估測(cè)。本次實(shí)驗(yàn)運(yùn)用光柵攝譜法觀察到了在外磁場(chǎng)下Hg譜線的分裂情況，直接驗(yàn)證了塞曼效應(yīng)；還以Fe譜線作為標(biāo)準(zhǔn)譜，用內(nèi)插法測(cè)得了各譜線的波長(zhǎng)，并以此故測(cè)了外加磁感應(yīng)強(qiáng)度B，基本實(shí)現(xiàn)了定量驗(yàn)證和分析，本實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理比較容易，老師講得也很清楚。